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應用范圍
根據(jù)設計,SOGEVAC泵可用來抽空穩(wěn)定氣體,其工作范圍為從大氣壓到泵極限真空之間的粗真空范圍。
警告
SOGEVAC泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性的、或氣體。
若存在有侵蝕性的,的,腐蝕的或氣體,請與LEYBOLD公司聯(lián)系。
根據(jù)設計,這些泵不能在或環(huán)境下工作。 若有問題,請與LEYBOLD公司聯(lián)系。
當心
泵不適合抽空液體或含有灰塵的介質(zhì)。必須引入相應防護措施。
如有問題,請與LEYBOLD公司聯(lián)系。
在抽空氧含量高于大氣(>20%)的氣體或其它高活性氣體之前,泵必須改型,除油,然后必須使用特殊油(例如PFPE)。
采取相應安全措施。
請與LEYBOLD聯(lián)系以獲取有關重要的安全說明書。
1.2 標準規(guī)格
處于備用狀態(tài)的泵,電機隨泵一起提供。隨泵一起提供的還有GS77或等同的油已注入泵內(nèi)。
連接口由塑料保護蓋封住。在啟動泵之前要去除這些塑料保護蓋。
BOXER 系列(130 至 460 對/8 小時)Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼鏡鏡片鍍膜的通用性高、生產(chǎn)力高且實用的中到大型平臺。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通過若干級進行擴展的能力為基礎,是滿足個別生產(chǎn)(無論是 Rx 生產(chǎn)還是存貨生產(chǎn))需求的理想選擇。真空泵油適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用,亦可用于各種擴散真空泵等。BOXER 系列鍍膜機進行的加工包括從經(jīng)典的寬帶減反膜到吸光層(防曬)。BOXER 系列還適用于潔凈室用途。優(yōu)化的設置提供出色的性能BOXER 系列采用位于鍍膜腔中心的高功率電子槍,確保了基底上的鍍膜材料的均勻沉積。緊湊式平臺設計僅需少的占地空間且包括強大的真空泵、大效率邁斯納冷阱和單或雙石英晶體監(jiān)視器以大程度提。不同的系統(tǒng)型號可提供靈活的應用BOXER 真空鍍膜機提供四種不同的版本以滿足客戶的特定需要。如果對系統(tǒng)的需求隨著時間變化,其硬件可輕松進行擴展,從而提高生產(chǎn)力。BOXER 900 采用更大體積的腔室,在產(chǎn)量方面經(jīng)過優(yōu)化,且可滿足大批量的生產(chǎn)需求。提供無數(shù)定制選件,包括適用于無機玻璃應用的雙石英晶體監(jiān)視器、翻轉(zhuǎn)布置以及加熱系統(tǒng)。智能設計,易于維護BOXER 鍍膜系統(tǒng)的矩形設計可方便腔室屏蔽的快速拆卸以進行清洗,而 BOXER 900 可通過屏蔽的滑動布置實現(xiàn)類似的輕松清洗。專門開發(fā)的“一鍵式修復”系統(tǒng)可方便基底支架的更換,由此有效地縮短基底傳送的時間。
真空泵排氣閥工作不正常,當然會影響到真空泵的真空度。所以真空泵維修中排氣閥門的拆修顯得至關重要。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。 真空泵拆修時,先把泵油放掉一部分,使油面下降到低于油窗。拆開油窗,取下閥片(或閥碗,球珠),檢查它們是否完好,平整,有彈性否,裝配是否牢固,合適,彈子蓋穿孔否。通常閥片應當能很平整地蓋住排氣孔。大泵的閥片多為鋼片,是用彈簧壓緊的,應檢查閥片有無損壞,彈簧是否過硬致使閥片難以跳動。耐油橡膠閥片類則要檢查它們是否變形等。 在真空泵維修故障時,對真空泵進行狀況監(jiān)護,既能延長了真空泵運行周期,又能妥善安排維修內(nèi)容,提,節(jié)省人力財力和時間,是先進的維修方式。而要實行此種維修方式,就要建立在及時有效的故障診斷技術的基礎上,研究真空泵故障診斷就是要達到實施預防真空泵維修。對真空泵排氣閥門進行拆修時,要根據(jù)上述步驟來進行拆修,也可以送入專業(yè)的真空泵維修廠家進行拆修,但是不能擅自拆修,否則可能會損壞設備。