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化學氣相沉積技術的使用
生產(chǎn)晶須:
晶須屬于一種以為發(fā)育的單晶體,它在符合材料范疇中有著很大的作用,能夠用于生產(chǎn)一些新型復合材料。 化學氣相沉積法在生產(chǎn)晶須時使用的是金屬鹵化物的氫還原性質(zhì)。在當代,微型電子學元器件中越來越多的使用新型非晶態(tài)材料,這種材料包括磷硅玻璃、硼硅玻璃、SiO2以及Si3N4等等?;瘜W氣相沉積法不但能制備出各類金屬晶須,同時也能生產(chǎn)出化合物晶須,比如氧化鋁、金剛砂、碳化鈦晶須等等。
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化學氣相沉積技術在材料制備中的使用
化學氣相沉積技術生產(chǎn)多晶/非晶材料膜:
化學氣相沉積法在半導體工業(yè)中有著比較廣泛的應用。比如作為緣介質(zhì)隔離層的多晶硅沉積層。在當代,微型電子學元器件中越來越多的使用新型非晶態(tài)材料,這種材料包括磷硅玻璃、硼硅玻璃、SiO2以及 Si3N4等等。期望大家在選購化學氣相沉積時多一份細心,少一份浮躁,不要錯過細節(jié)疑問。此外,也有一些在未來有可能發(fā)展成開關以及存儲記憶材料,例如氧化銅-氧化銅等都可以使用化學氣相沉積法進行生產(chǎn)。
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