Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

       隨著的熱度提升，游戲風(fēng)靡全國(guó)網(wǎng)吧，網(wǎng)吧設(shè)備的硬件要求也變了，公共場(chǎng)所使用的電腦及鍵盤鼠標(biāo)，由于使用對(duì)象的復(fù)雜化，很快防水在網(wǎng)吧鍵盤的使用起來，起初的工藝是在鍵盤上加了一層防水膜，這樣即便是潑水也不會(huì)從縫隙里面流入到鍵盤內(nèi)部，當(dāng)初這種設(shè)計(jì)只能應(yīng)付一般的潑水，對(duì)于網(wǎng)咖環(huán)境來說也已經(jīng)圓圓不夠用夠用，產(chǎn)品的壽命短導(dǎo)致網(wǎng)吧運(yùn)營(yíng)成本高居不下。

       其實(shí)它的設(shè)計(jì)里面與全防水薄膜鍵盤比較相似，只不過不同之處在于它用的是納米防水涂料將整個(gè)PCB包裹起來，讓水無法進(jìn)入到PCB里面，因而擁有了業(yè)界較高的IPX8級(jí)防水性能，派瑞林鍍膜技術(shù)，與光電鍵盤成為網(wǎng)吧硬件的標(biāo)配，大大延長(zhǎng)了網(wǎng)吧設(shè)備的使用壽命，派瑞林納米鍍膜鍵盤成為網(wǎng)吧新寵。

ParyleneD的介電性能和物理機(jī)械性能

Parylene D，性質(zhì)與Parylene C相似，但是具有更高的耐熱能力。其在較高溫度下仍有優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能。 Parylene F，其薄膜具有高的介電強(qiáng)度和低的介電常數(shù)，且熱穩(wěn)定性好，還具備抗紫外能力。薄膜本身連續(xù)、致密、無，可以作為各種復(fù)雜形狀電子器件的保護(hù)膜使用。 Parylene HT，該材料具有更低的介電常數(shù)、好的穩(wěn)定性和防水、防霉、防鹽霧性能。短期耐溫可達(dá)450°C，長(zhǎng)期耐溫可達(dá)350°C，并具有強(qiáng)的抗紫外線能力。更適合作為高頻微波器件的防護(hù)材料。符合ISO-10993生物試驗(yàn)要求，符合UDP第六類塑料的生物試驗(yàn)要求。 Parylene涂層除具備以上優(yōu)異防護(hù)性外，還具有良好的生物兼容性、生物穩(wěn)定性、優(yōu)異的自潤(rùn)滑性、涂層均勻可控性，以及好的物理機(jī)械性能。多年來，其在航天航空、微電子、半導(dǎo)體、傳感器、磁性材料、器械、保護(hù)等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，已經(jīng)慢慢滲透到人們的日常生活中。