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發(fā)布時(shí)間:2020-09-07 08:03  

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彩色抗蝕劑(RGB)的薄膜厚度測(cè)量[FE - 0003]

液晶顯示器的結(jié)構(gòu)通常如右圖所示。 CF在一個(gè)像素中具有RGB,并且它是非常精細(xì)的微小圖案。 在CF膜形成方法中,主流是采用應(yīng)用在玻璃的整個(gè)表面上涂覆基于顏料的彩色抗蝕劑,通過光刻對(duì)其進(jìn)行曝光和顯影,并且在每個(gè)RGB處僅留下圖案化的部分的工藝。 在這種情況下,如果彩色抗蝕劑的厚度不恒定,將導(dǎo)致圖案變形和作為濾色器導(dǎo)致顏色變化,因此管理膜厚度值很重要。





膜厚儀測(cè)試時(shí)有關(guān)輻射安全注意事項(xiàng)

幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線管而產(chǎn)生輻射。測(cè)量頭的設(shè)計(jì)完全符合國(guó)際X射線安全要求:  ·測(cè)量頭控制臺(tái)上的一個(gè)鑰匙開關(guān)通過打開或關(guān)閉X射線管上的高壓決定X幅射的產(chǎn)生與否;  ·一個(gè)多級(jí)故障自動(dòng)保險(xiǎn)互鎖系統(tǒng)可控制X幅射的產(chǎn)生,從而有效保護(hù)操作者的安全;  ·如果測(cè)量門沒有完全關(guān)閉,X幅射就不會(huì)進(jìn)入測(cè)量室;  ·足夠的遮罩用來減小外部的幅射量。


膜厚測(cè)試儀的預(yù)熱   關(guān)機(jī)超過3個(gè)小時(shí)開機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”,將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,設(shè)定測(cè)量時(shí)間為6S重復(fù)測(cè)量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵,等待自動(dòng)連續(xù)測(cè)量完成。

膜厚儀直接的鍍膜操縱方法是石英晶體微量平衡法(QCM),此法可以直接驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)祥,通過PID控制循環(huán)驅(qū)動(dòng)擋板,保持蒸發(fā)速率。只有將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接,它就可能節(jié)制全體的鍍膜進(jìn)程。然而QCM的正確度是有限的,部分起因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度。


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