淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

水環(huán)真空泵的排出側(cè)必需裝設(shè)閥門（球閥或截止閥等）和逆止閥。閥門用來調(diào)理泵的工況點(diǎn)，逆止閥在液體倒流時(shí)可避免泵反轉(zhuǎn)，并使泵防止水錘的打擊。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍?！　?/span>

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加強(qiáng)管路剛度

　　考慮到對(duì)水環(huán)式真空泵進(jìn)行加固比較困難，采取在出口鋼管焊接“加強(qiáng)筋”的辦法。沿進(jìn)出水方向，在真空泵出口漸擴(kuò)管與出水閥門之間的連接鋼管兩端法蘭，用8條厚度為32毫米、寬度為100毫米的鋼板進(jìn)行焊接。增加鋼管的剛度，減少變形量，抵抗位移。經(jīng)測(cè)量，加筋后，水環(huán)式真空泵A點(diǎn)的位移量降至0.35毫米。

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