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在厚膜導(dǎo)體漿料中,除了粒度合適的金屬粉或金屬有機化合物外,還有粒度和形狀都適宜的玻璃粉或金屬氧化物,以及懸浮固體微粒的有機載體。玻璃可把金屬粉牢固地粘結(jié)在基片上,形成厚膜導(dǎo)體。常用無堿玻璃,如硼硅鉛玻璃。
厚膜電阻是厚膜集成電路中發(fā)展最早、制造水平一種厚膜元件,可以制造各種電阻。對厚膜電阻的主要要求是電阻率大、阻值溫度系數(shù)小、穩(wěn)定性好。
與導(dǎo)體漿料相同,電阻漿料也有三種成分:導(dǎo)體、玻璃和載體。但是,它的導(dǎo)體通常不是金屬元素,而是金屬元素的化合物,或者是金屬元素與其氧化物的復(fù)合物。常用的漿料有鉑基、釕基和鈀基電阻漿料。
厚膜介質(zhì)用來制造微型厚膜電容器。對它的基本要求是介電常數(shù)大、損耗角正切值小、絕緣電阻大、耐壓高、穩(wěn)定可靠。介質(zhì)漿料是由低熔玻璃和陶瓷粉粒均勻地懸浮于有機載體中而制成的。常用的陶瓷是鋇、鍶、鈣的鈦酸鹽陶瓷。改變玻璃和陶瓷的相對含量或者陶瓷的成分,可以得到具有各種性能的介質(zhì)厚膜,以滿足制造各種厚膜電容器的需要。
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厚膜絕緣用作多層布線和交叉線的絕緣層。對它的要求是絕緣電阻高、介電常數(shù)小,并且線膨脹系數(shù)能與其他膜層相匹配。
?體;color:black;mso-font-kerning:0pt'> 對于1/8W以上的功率電阻,結(jié)構(gòu)形式如圖5:
在絕緣漿料中常用的固體粉粒是無堿玻璃和陶瓷粉粒。
●基片材料:聚酰亞胺薄膜;
●工作溫度范圍:–40℃~125℃;
●導(dǎo)體材料:導(dǎo)體附著力強,線阻低;
●電阻體材料:高性能導(dǎo)電塑料,耐磨性能好;
●耐磨指標:采用貴金屬絲狀電刷,電刷絲在電阻表面接觸壓力為1.2N~2N條件下,來回循環(huán)500萬次以上,電性能應(yīng)能滿足要求。
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●電阻R的寬度、厚度應(yīng)均勻,使電刷在上面滑動時,所載取的電阻值與角度成線性關(guān)系,線性偏差≤1%。