用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高；它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小（相對(duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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高壓開關(guān)檢漏——氦質(zhì)譜檢漏儀

高壓電器行業(yè)提出的《生產(chǎn)63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產(chǎn)品符合技術(shù)條件和安全性。高壓開關(guān)設(shè)備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質(zhì)，產(chǎn)品要求開關(guān)內(nèi)部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產(chǎn)過程中就要對(duì)部件以及出廠整機(jī)做檢漏，高壓電器采用的氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認(rèn)同。

鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發(fā)生泄漏和誤檢，使總裝后的產(chǎn)品氣密性達(dá)不到要求，導(dǎo)致返工，不但浪費(fèi)了人力物力，也耽擱了生產(chǎn)周期。由于采用了氦質(zhì)譜檢漏儀彌補(bǔ)了傳統(tǒng)檢漏的不做，同時(shí)可以檢漏漏點(diǎn)和漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法根據(jù)被檢工件的情況而定的：

1.對(duì)于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對(duì)氦罩沖氦，同時(shí)觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。

2.對(duì)于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統(tǒng)抽至5Pa以下，關(guān)掉抽氣閥，打開檢漏閥，進(jìn)行檢漏。漏率超過值即為不合格。

3.對(duì)于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技企業(yè)。自成立以來嚴(yán)格執(zhí)行產(chǎn)品國際標(biāo)準(zhǔn)、及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)用現(xiàn)代經(jīng)營理念與管理手段，擁有強(qiáng)大的技術(shù)支持和先進(jìn)的生產(chǎn)與檢測(cè)設(shè)備，精心制造出穩(wěn)定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產(chǎn)品。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。

2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)0點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜擇功能，一個(gè)按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。

氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)越性

氦質(zhì)譜檢漏法是根據(jù)質(zhì)譜分析的原理, 以氦作示蹤氣體, 對(duì)各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測(cè)的理想方法。

由于氦是惰性氣體, 對(duì)大氣無污染, 使用比較安全； 而且氦的原子量小、粘度小, 容易滲透過任何可能存在的漏隙, 因此檢測(cè)靈敏度高、速度快、適用范圍廣； 另外氦在大氣中含量少(僅萬分之五) , 離子質(zhì)量與其它氣體離子質(zhì)量相差很大, 不易受干擾, 錯(cuò)判幾率小。所以, 與其它諸多檢漏方法比, 氦質(zhì)譜檢漏具有的優(yōu)越性。

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展, 檢漏應(yīng)用技術(shù)在不斷地更新, 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)也在不斷擴(kuò)展到更廣闊的領(lǐng)域當(dāng)中。為提高產(chǎn)品合格率和生產(chǎn)效率, 不應(yīng)一味沿用的古老且落后的手段處理泄漏問題。