無塵車間潔凈室管理制度

1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。

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無塵室/無塵車間/凈化車間/潔凈室設計要點

     1、無塵車間系統(tǒng)

室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流，垂直層流和亂流，選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數(shù)。

     2、潔凈度與換氣次數(shù)

房間的潔凈度取決于單位時間的換氣次數(shù)，因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)，以及生產(chǎn)工藝要求，再決定凈化系統(tǒng)的技術參數(shù)。

     3、結(jié)構(gòu)

為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進行結(jié)構(gòu)設計，必要的謹慎可以防止房間里任何地方的灰塵積。