當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)張，將氣體通過吸入口吸入。氣體經(jīng)過污物防護(hù)罩，打開的防返油閥（7/54）進(jìn)入泵腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)，葉片從吸入口將泵腔部分分開。另一方面使真空泵長周期高效率運(yùn)轉(zhuǎn)，也為真空泵的進(jìn)一步改進(jìn)提供依據(jù)。這部分泵腔體積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓力時經(jīng)過排氣閥（6/20）從泵腔中排出。

油被注入泵腔起密封，潤滑和冷卻泵的作用。

壓縮氣體夾帶的油在油箱（6/27）內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。然后在出口過濾器元件（6/29）中被徹底過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度（捕集率大于99%）。

在出口過濾器中捕集的油經(jīng)過回油管（6/11）返回到進(jìn)氣室。為了防止大氣壓下的氣體從油槽流入進(jìn)口，回油管由一個浮球閥控制。

油循環(huán)是由油箱（壓力高于或等于大氣壓）和泵的進(jìn)氣口（壓力低于大氣壓）之間存在的壓差維持的。一部分油取自油槽（6/27），經(jīng)過油過濾器（6/25）流到轉(zhuǎn)子的軸承支撐點(diǎn)和泵腔。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。注入泵內(nèi)油的另一部分不會通過油過濾器。所以，如果油過濾器偶然完全堵塞，通過具有足夠油量的第二線路確保潤滑，從而保證泵良好機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)。

然而在這種情況下，泵達(dá)不到規(guī)定的極限壓力。一般來說這表明油臟了或油過濾器被堵塞了。

在電機(jī)軸上旋轉(zhuǎn)的風(fēng)扇產(chǎn)生冷卻所必須的空氣流，來通過冷卻盤管中的潤滑。

根據(jù)需求，可訂購帶氣鎮(zhèn)裝置（6/14）的泵（USA型號的泵氣鎮(zhèn)閥為標(biāo)準(zhǔn)配置）。

在密封狀態(tài)下工作，即整個系統(tǒng)處于密封狀態(tài)，一但真空泵工作，系統(tǒng)內(nèi)的氣壓逐漸降低，從而達(dá)到真空。而真空泵泵腔內(nèi)的潤滑是靠內(nèi)部真空對外產(chǎn)生吸力，將真空泵油吸到泵腔里面，達(dá)到潤滑目的。如果對系統(tǒng)的需求隨著時間變化，其硬件可輕松進(jìn)行擴(kuò)展，從而提高生產(chǎn)力。其二，在非密封狀態(tài)下工作，即整個系統(tǒng)處于漏氣狀態(tài)，真空泵工作，系統(tǒng)內(nèi)的氣壓雖然降低，但不足以將真空泵油吸到泵腔里面潤滑。因此，采用強(qiáng)制供油潤滑前面所說的“油泵”使用過程中，對真空泵而言，以“先開后關(guān)”為原則，即在工作時先開真空泵后打開閥門開關(guān)，在結(jié)束工作前先關(guān)閉閥門開關(guān)后再關(guān)閉真空。

真空泵維修保養(yǎng)誤區(qū)

 真空泵為什么有噪音，有以下幾種可能，首先排除電機(jī)是否有異音，如果電機(jī)生音正常，電機(jī)主要是軸承損壞將有異音，更換軸承及排除，缸體是否有磨損狀況，如果缸體磨損聲音肯定會變大，解決方案，那就是搪缸，搪缸對泵浦本身影響很大的，會影響泵浦真空度及抽速，所以搪缸的尺寸及精度要求非常高，還有一級轉(zhuǎn)子與二級轉(zhuǎn)子連接處有個聯(lián)軸器是否有磨損，如果磨損聲音會變大，真空泵維修處理方案，就是更換，如果更換基本就可以排除聲音過大，泵浦軸承是否有更換，這個是直接影響聲音的根本原因，所以更換及可以解決噪音大之故障，一級轉(zhuǎn)子與二級轉(zhuǎn)子連接銷釘是否有磨損狀況，如果磨損也會導(dǎo)致噪音變大，處理方案就是換新，泵浦間隙是否符合標(biāo)準(zhǔn)，如果間隙過大或者過小也會導(dǎo)致噪音變大，所以間隙必須符合泵浦使用狀況，排氣端是否有消音裝置，如果沒有也會直接導(dǎo)致聲音變大，處理方案就是更換及可以安裝及可排除。    真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空。有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油、氣鎮(zhèn)性能等不達(dá)標(biāo)或不能滿足要求。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

對于機(jī)械真空泵如旋片式真空泵應(yīng)安裝在清潔、干凈的環(huán)境里，溫度宜在15至40度范圍之內(nèi)。在真空泵的進(jìn)氣口處應(yīng)安裝精密過濾器，消除油蒸汽不使它污染整個系統(tǒng)。每次啟動真空泵前，應(yīng)用手轉(zhuǎn)動或斷續(xù)啟動幾次，將旋片真空泵內(nèi)油排出真空泵外，減少啟動時的阻力。真空泵使用油，一般3~6個月更換一次，以免增加真空泵維修保養(yǎng)起來的難度。歐瑞康萊寶羅茨泵的基本參數(shù)：在250～2050米3/小時的抽速范圍內(nèi)，歐瑞康萊寶的羅茨泵的電機(jī)有直聯(lián)式(WA/WAU)和封閉式(WS/WSU)兩種規(guī)格，每種規(guī)格又分為帶逸流閥、可在大氣下啟動的WAU/WSU和不帶逸流閥的WA/WS的兩種形式。真空泵抽除含有可凝性蒸汽時精密過濾器。用帶放氣電磁閱是較好的措施，可保證停泵時即對真空泵放大氣。