微型機(jī)械在國(guó)外已受到政府部門(mén)、企業(yè)界、高等學(xué)校與研究機(jī)構(gòu)的高度重視。美國(guó)MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科學(xué)家在上世紀(jì)八十年代末提出'小機(jī)器、大機(jī)遇：關(guān)于新興領(lǐng)域--微動(dòng)力學(xué)的報(bào)告'的國(guó)家建議書(shū)，聲稱(chēng)'由于微動(dòng)力學(xué)(微系統(tǒng))在美國(guó)的緊迫性，應(yīng)在這樣一個(gè)新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國(guó)家的競(jìng)爭(zhēng)中走在前面'，建議中央財(cái)政預(yù)支費(fèi)用為五年5000萬(wàn)美元，得到美國(guó)領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)重視，連續(xù)大力投資，并把航空航天、信息和MEMS作為科技發(fā)展的三大重點(diǎn)。美國(guó)宇航局投資1億美元著手研制'發(fā)現(xiàn)號(hào)微型'，美國(guó)國(guó)家科學(xué)會(huì)把MEMS作為一個(gè)新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助微型電子機(jī)械系統(tǒng)的研究的計(jì)劃，從1998年開(kāi)始，資助MIT，加州大學(xué)等8所大學(xué)和貝爾實(shí)驗(yàn)室從事這一領(lǐng)域的研究與開(kāi)發(fā)，年資助額從100萬(wàn)、200萬(wàn)加到1993年的500萬(wàn)美元。把MEMS列為關(guān)鍵技術(shù)項(xiàng)目。美國(guó)研究計(jì)劃局積極領(lǐng)導(dǎo)和支持MEMS的研究和軍事應(yīng)用，現(xiàn)已建成一條MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝線以促進(jìn)新型元件/裝置的研究與開(kāi)發(fā)。美國(guó)工業(yè)主要致力于傳感器、位移傳感器、應(yīng)變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機(jī)構(gòu)參加了微型機(jī)械系統(tǒng)的研究，如康奈爾大學(xué)、斯坦福大學(xué)、加州大學(xué)伯克利分校、密執(zhí)安大學(xué)、威斯康星大學(xué)、老倫茲得莫爾國(guó)家研究等。加州大學(xué)伯克利傳感器和執(zhí)行器中心(BSAC)得到和十幾家公司資助1500萬(wàn)元后，建立了1115m2研究開(kāi)發(fā)MEMS的超凈實(shí)驗(yàn)室。

 機(jī)械加工工藝規(guī)程的制定，大體可分為兩個(gè)步驟。首先是擬定零件加工的工藝路線，然后再確定每一道工序的工序尺寸、所用設(shè)備和工藝裝備以及切削規(guī)范、工時(shí)定額等。這兩個(gè)步驟是互相聯(lián)系的，應(yīng)進(jìn)行綜合分析。

 工藝路線的擬定是制定工藝過(guò)程的總體布局，主要任務(wù)是選擇各個(gè)表面的加工方法，確定各個(gè)表面的加工順序，以及整個(gè)工藝過(guò)程中工序數(shù)目的多少等。

砂帶磨削 是用粘有磨料的混紡布為磨具對(duì)工件進(jìn)行加工，屬于涂附磨具磨削加工的范疇，有生產(chǎn)率高、表面質(zhì)量好、使用范圍廣等特點(diǎn)。國(guó)外在砂帶材料及制作工藝上取得了很大的成就，有了適應(yīng)于不同場(chǎng)合的砂帶系列，生產(chǎn)出通用和專(zhuān)用的砂帶磨床，而且自動(dòng)化程度不斷提高 已有全自動(dòng)和自適應(yīng)控制的砂帶磨床 ，但國(guó)內(nèi)砂帶品種少，質(zhì)量也有待提高，對(duì)機(jī)床還處于改造階段。 精密切削 也稱(chēng)金剛石刀具切削 SPDT ，用高精密的機(jī)床和單晶金剛石刀具進(jìn)行切削加工，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工

化學(xué)拋光 化學(xué)拋光是通過(guò)磷酸等氧化劑，在一定的條件下，使被加工的金屬表面氧化，使表面平整化和光澤化?；瘜W(xué)拋光設(shè)備簡(jiǎn)單，可以加工各種形狀的工件，效率較高，加工的表面粗糙度一般為Ra≤0.2μm，但腐蝕液對(duì)人體和設(shè)備有損傷，污染環(huán)境，需妥善處理。主要用來(lái)對(duì)不銹鋼、銅、鋁及其合金的光亮修飾加工。 電化學(xué)拋光 電化學(xué)拋光是利用電化學(xué)反應(yīng)去除切削加工所殘留的微觀不平度，以提高零件表面光亮度的方法。它比機(jī)械拋光具有較高的生產(chǎn)率和小的表面粗糙度：