近年，在這些規(guī)則規(guī)模中堅持處理空氣進程，使咱們必需承擔資金和運營本錢?？墒菫槭裁粗档没ㄙM這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對濕度呢？道理很簡單，因為相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w體現(xiàn)下降的因素，其間包含：1、細菌成長；2、工作人員感到室溫舒適的規(guī)模；3、出現(xiàn)靜電荷；4、金屬腐蝕；5、水汽冷凝；6、光刻的退貨；7、吸水性。

無塵車間對潔凈室的需要以及對無塵車間潔凈度的要求，取決于潔凈室內(nèi)工藝的性質(zhì)。在這方面，將產(chǎn)品、工藝及人員所需要的保護水平，連同其它所有組成部分對潔凈度的整個要求一并考慮，是非常關(guān)鍵的。以現(xiàn)實的觀點看，保證對一個特定環(huán)境有充分的污染控制，就必須控制室內(nèi)換氣次數(shù)，控制室內(nèi)溫、濕度，控制與相鄰房間的壓差，控制室內(nèi)粒子濃度，控制房間使用的建筑材料與設(shè)備，控制微生物的數(shù)量，控制所用服裝的污染水平及通風過濾器的數(shù)量。需要通盤考慮的其他因素有：人員的衛(wèi)生、設(shè)備選項、ren流及物流的通道。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：不攜入,在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理； 2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。 4）機器及材料帶進無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。