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相對濕度在35%-40%之間能夠作為一個令人滿意的折中,半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度,包含腐蝕的進程,將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時,高濕度能夠使反響加速。幸運的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物,并阻止進一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護才能的,因而,在高濕度的環(huán)境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。
對于無塵車間的壓強差來說需要靠著新的通風(fēng)數(shù)量,而在通風(fēng)的數(shù)量上可以償還一下從中漏掉的風(fēng)數(shù),因此所謂的無塵車間的壓強差距指的就是風(fēng)經(jīng)過無塵車間中縫隙時候的阻力。相對無塵車間的亂流室來講,一般就是憑氣體來將室內(nèi)的溫度稀釋的,而對室內(nèi)的氣體流速來說有如下一些要求。1、把無塵車間的出風(fēng)的位置相對氣流的速度不要太大,而較于空調(diào)室內(nèi)來說,相對速度的要求shuai退更快。2、對于無塵車間內(nèi)部平行的氣體流速來說,不能太大,這樣也不容易讓表面上的粒子重返回去。