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凈化室工程共包含下列功用室:主實(shí)驗(yàn)室:該實(shí)驗(yàn)室為主體實(shí)驗(yàn)室,規(guī)劃的凈化等級(jí)為三十萬(wàn)級(jí)—十萬(wàn)級(jí)。更衣室:該實(shí)驗(yàn)室用于放置更衣柜,進(jìn)主實(shí)驗(yàn)室之前的替換衣服和鞋運(yùn)用。緩沖室:該實(shí)驗(yàn)室為ICP儀器室的一個(gè)緩沖室,用作隔離實(shí)驗(yàn)室外部的塵土充滿到儀器室內(nèi)。風(fēng)淋室:思考更高凈化等級(jí)的請(qǐng)求,關(guān)于本實(shí)驗(yàn)室的實(shí)際請(qǐng)求,能夠不選用。
實(shí)驗(yàn)室潔凈度及壓力梯度:主實(shí)驗(yàn)室:面積為150m2,凈空高度為2.7m,規(guī)劃溫度(空調(diào)操控),規(guī)劃濕度(能夠思考添加抽濕機(jī)),潔凈等級(jí)為三十萬(wàn)級(jí)—十萬(wàn)級(jí),換氣次數(shù)25次/小時(shí),相對(duì)壓力為 10Pa,規(guī)劃送風(fēng)量900m3/h,過(guò)濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為1000 m3/h。緩沖室:面積為2.9m2,凈空高度為2.7m,潔凈等級(jí)為十萬(wàn)級(jí),換氣次數(shù)15次/小時(shí),相對(duì)壓力為 5Pa,規(guī)劃送風(fēng)量110m3/h,過(guò)濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為500 m3/h。