潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)部墻面應(yīng)使用不易開(kāi)裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料

潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)部墻面應(yīng)使用不易開(kāi)裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料，墻面必須平整，防潮防霉，Ⅰ、Ⅱ級(jí)潔凈室墻面可用整體或裝配式壁板；Ⅲ、Ⅳ級(jí)潔凈室墻面也可用大塊瓷磚或涂料，縫隙均應(yīng)抹平。 潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻面下部的踢腳必須與墻面齊平或凹于墻面；踢腳必須與地面成一整體；踢腳與地面交界處的陰角必須做成R≥40mm 的圓角。其他墻體交界處的陰角宜做成小圓角。 潔凈手術(shù)部?jī)?nèi)墻體轉(zhuǎn)角和門的豎向側(cè)邊的陽(yáng)角應(yīng)為圓角。通道兩側(cè)及轉(zhuǎn)角處墻上應(yīng)設(shè)防撞板。 室內(nèi)與空氣直接接觸的外露材料不得使用木材和石膏。

吹淋室不能作為通常收支通道

吹淋室不能作為通常收支通道，由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或主動(dòng)，一旦出現(xiàn)毛病，十分影響分散，所以通常均在吹淋室設(shè)旁通門，作業(yè)人員多于5人時(shí)有必要設(shè)此門。平常作業(yè)人員出凈化車間時(shí)不應(yīng)走吹淋室而應(yīng)走旁通門。 凈化區(qū)內(nèi)各凈化車間的門，思考到保持室內(nèi)壓力情況的需求，其開(kāi)設(shè)方向要朝向壓力大的房間，由于要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全分散的需求相反。為了思考平常凈化和緊迫分散時(shí)的兩方面需求，規(guī)則凈化區(qū)和非凈化區(qū)之間的門、凈化區(qū)與室外的門作為安全分散門對(duì)待，其敞開(kāi)方向一概朝向分散方向，當(dāng)然，單設(shè)的安全門也是如此。

單向流潔凈室的空間布置

單向流潔凈室主要用于電子工業(yè)和生物制藥生產(chǎn)的局部區(qū)域。在生物產(chǎn)品生產(chǎn)中主要采用局部設(shè)置層流罩或凈化工作臺(tái)或生物安全柜等來(lái)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在電子工業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中需要一個(gè)房間或一條生產(chǎn)線，甚至數(shù)條生產(chǎn)線的主要工序均需設(shè)置在嚴(yán)于5級(jí)的潔凈室內(nèi)，才能達(dá)到產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。為此，單向流潔凈室的空間布置己從 “單層”布置發(fā)展到“多層”布置。“單層”布置的單向流潔凈廠房，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，在上技術(shù)夾層內(nèi)布置送風(fēng)管道、部分公用動(dòng)力管線，通過(guò)設(shè)在頂棚上的過(guò)濾器向潔凈生產(chǎn)區(qū)均勻送風(fēng)；通過(guò)設(shè)在下技術(shù)夾層的回風(fēng)地板回風(fēng)至空氣處理裝置?！岸鄬印辈贾玫膯蜗蛄鳚崈魪S房的主要特點(diǎn)是將潔凈生產(chǎn)區(qū)與供應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所需的各類公用動(dòng)力管線、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝管線及工藝輔助設(shè)施等都布置在下技術(shù)夾層（底層）內(nèi)，同潔凈生產(chǎn)區(qū)分層布置。

潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關(guān)心的問(wèn)題于20年前由日本人提出，近年來(lái)，世界IC技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對(duì)當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個(gè)數(shù)，但對(duì)AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學(xué)品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對(duì)下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產(chǎn)過(guò)程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問(wèn)題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計(jì)與施工建設(shè)的主流趨勢(shì)。目前，國(guó)內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開(kāi)始從事此方向的研究，在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列，而中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院則在防微震方面。