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單向流潔凈室
單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂的過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞,向下流經室內,帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉,而紊流通風系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。在一間沒有任何障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風速,就可以很快將污染物清除。但在一個操作間,機器以及機器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復,充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風速可以正確地表示出單向流,因為風速越高室內就越潔凈。而每小時換氣次數與房間的體積有關,如吊頂的高低,因此不適合用來表示單向流。單向流室內的送風量是紊流室的很多倍(10到100倍)。
3、依據氣候條件選空調箱
關于空調箱的選擇,應考慮所處的氣候環(huán)境。如在冬季氣溫低、空氣含塵量大的北方地區(qū),則應在通用的空調機組上增設新風預熱段,采用淋水式空氣處理方式,使其既對空氣洗塵又使其產生熱溫交換達到所要求的溫、濕度。優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。而在氣候濕潤,空氣含塵濃度較低的南方地區(qū),則冬季也無需對新風預熱,對空氣的過濾及溫、濕度的調節(jié)則采用初效過濾,表冷面調節(jié)溫濕度,也可加強溫減濕工序,再經中效過濾和終端或亞過濾。空調箱配套風機一般建議采用變頻風機,這不僅節(jié)能,還可靈活調節(jié)風量風壓。
凈化工程如今在電子、制藥、食品和生物領域應用廣泛,雖然說不同行業(yè)的凈化系統(tǒng)各不相同,但這些行業(yè)的凈化系統(tǒng)也可以適用于其它行業(yè)中。。4、封閉類:由成膜物質制成,形成一層薄膜阻止甲醛釋放,如幾丁聚糖、液體石蠟等缺點:一,化學反應過后生成的物質很可能帶來二次污染。凈化工程主要就是通過一些凈化技術,凈化設備,控制一個很好的生產環(huán)境,控制塵粒,控制一定的溫濕度,這需要有好的設計還有施工,有很多細節(jié)。那么這四大領域的凈化工程有哪些區(qū)別呢?
電子廠凈化工程
電子廠的潔凈程度對電子產品的質量有非常直接的影響,通常采用送風系統(tǒng),并使用過濾機組將空氣進行層層凈化,對工廠的各個位置的凈化程度分等級來區(qū)分,每個區(qū)域都要達到規(guī)定的凈化級別,在工程完工后需要靜態(tài)驗收。
潔凈廠房和周圍輔助性站房內有強烈振動的設備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道,應采取積極隔振措施。
對潔凈廠房內外各類振源,應測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制,也可根據經驗對綜合振動影響進行評價。并應與精密設備、精密儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較,以確定對其采取必要的田振措施。
精密設備、精密儀器儀表的隔振措施,應考慮減少發(fā)塵量、保持潔凈室內合理的氣流組織等要求。當采用空氣的彈簧隔振臺座時,應對氣溫進行處理,使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。