真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領域:①半導體行業(yè):薄膜制造設備、半導體器件封裝設備;②科學儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設備、分析測試儀器;③機械設備行業(yè):材料制備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、材料提純設備、超高真空排氣設備;④行業(yè):儀器、透析機;生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備等領域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結構簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積。采用空氣冷卻，無需水冷。

　    真空泵的維修的基本知識點?隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。

       旋片真空泵在使用一段時間后就可能會出現(xiàn)一些故障問題，比較常見的就是真空度下降、密封處漏油、真空泵轉動停滯等情況，甚至還可能出現(xiàn)“卡死”、生銹和大的撞擊聲、真空泵腔內落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異常現(xiàn)象，這時候一定要對真空泵進行拆洗。

　    要確定電機故障，首先應了解故障的發(fā)生，尤其是故障發(fā)生前后的變化。觀察電機的異常情況，如端蓋、風扇、外殼是否松動、、損壞，氣道是否堵塞，軸是否彎曲，是否有特殊現(xiàn)象氣味，絕緣被燒毀。氣味也是油脂或其他油脂熔化和蒸發(fā)的氣味。用手轉動轉子，聽聽是否有異物摩擦或定子和轉子鐵芯摩擦。如果仍然可以啟動電機，請注意啟動和運行期間聲音是否異常。并用手觸摸電機部件，檢查熱量程度以及是否存在局部過熱(如軸承室附近的熱量與其他部件相比)和振動。

　　相位異步真空泵電動機的繞組損壞，并且相量損失操作引起大量的繞組。所謂的缺相運行意味著運行中的電機突然斷電，電機仍在工作。由于電流太大，繞組必然會燒壞。當發(fā)生缺相操作時，電機聲音極其異常。發(fā)現(xiàn)后應立即切斷電源停止檢查。