無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。

     每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。

    無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經(jīng)濟性效果。人所以，可知無塵室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/min。

    無塵車間地址的選擇應符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則。廠址應設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側(cè)面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區(qū)為2～3天，其他區(qū)域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。

    個人物品，例如煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲物柜里，不能把它們帶進潔凈室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。蘇州卓宇泰公司要求在進入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產(chǎn)品。(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當前還是不經(jīng)濟的。一次性鞋套每天更換一到兩次。