Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過(guò)的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒(méi)有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門(mén)的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

        LED燈條、LED燈模組、LED顯示屏經(jīng)過(guò)parylene微米鍍膜，使其可達(dá)到防潮、防水、防塵、耐酸堿、耐高電壓及干式潤(rùn)滑的效果，提升產(chǎn)品的使用壽命和使用效果。派瑞林納米防水，無(wú)需改變產(chǎn)品外觀，在產(chǎn)品的表面做到微米級(jí)極薄涂層，不增加重量，不影響裝配，散熱性好，可以做到IPx8防水等級(jí)，且有其他防水方式不具備的抗鹽霧耐電壓以及抗UV功能。

        LED顯示屏系統(tǒng)所涉及的產(chǎn)品都經(jīng)過(guò)防酸雨、防鹽霧、防水、防潮、防塵、防燃燒、防腐蝕等處理，符合鹽霧試驗(yàn)要求，即使在海洋性氣候的條件下，屏幕也能夠正常使用。

      SMD：Parylene是這些先進(jìn)組裝方式較好的防護(hù)材料。Parylene活性分子所擁有的良好穿透力，能在組件內(nèi)部、底部、周?chē)缺砻嫘纬蔁o(wú)氣孔的防護(hù)層。

      微電子、半導(dǎo)體：使用較高的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

      混合電路：Parylene能提高引線及焊點(diǎn)的結(jié)合強(qiáng)度，消除表面的水分、金屬離子和其它微粒污染，廣泛用于軍事科技、航空、航天等領(lǐng)域。

       印刷電路板：是Parylene較廣泛的應(yīng)用，它符合美國(guó)軍標(biāo)Mil-l-46058C中的XY型各項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)。在鹽霧實(shí)驗(yàn)及其它惡劣環(huán)境下還可以保持電路板的高可靠性，可保護(hù)控制工程線路中的敏感組件，并且不會(huì)影響電路板元器件的功能運(yùn)作。

       電子領(lǐng)域代表行業(yè)：電子門(mén)禁系統(tǒng)（監(jiān)控、），公共電器設(shè)施，工廠電子設(shè)備，家用電器設(shè)施，隨身電子產(chǎn)品，車(chē)載電器，交通設(shè)施電子系統(tǒng)，智能水電氣儀表，精密測(cè)量電子儀器，科研領(lǐng)域電子儀器。