往復(fù)真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

未來的家電中將主要為新的四大件:具有多媒體的彩電、計算機和音響組合體的多功能信息系統(tǒng);具有真空冷凍和真空保鮮功能的電冰箱;具有真空脫水功能的洗衣機以及具有監(jiān)控室內(nèi)空氣新鮮程度的空調(diào)器。這些家用電器中,有的直接應(yīng)用真空技術(shù),有的間接利用真空技術(shù)得到的加工成果。

因為不論是計算機,還是各種自動化電器,它們的基礎(chǔ)是微電子器件。其中重要的是在規(guī)模集成電路?，F(xiàn)今提起微電子器件幾乎是家喻戶曉,老幼皆知,因為它在現(xiàn)今人類社會的生產(chǎn)和生活中的作用是任何其它工業(yè)產(chǎn)品不能與之相比的。

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往復(fù)真空泵維修方法制備有機功能薄膜的技術(shù)

莫爾定律講的是硅片上的元件密度,這是描述大規(guī)模集成電路進行信息加工能力的參量,按照IBM公司1994年發(fā)表的特殊報告講到的關(guān)于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。

信息存儲密度106bit／cm2，可存下一篇30頁;108bit／cm2,能存300頁的書10本;1010bit／cm2,存1000本書;1012bit／cm2,存10萬本書,對于一塊3.5＂磁盤可存入500萬本書是可能的。這幾乎是我國目前省級圖書館的全部藏書。由這個估算可見存儲密度的提高,其芯片的功能是極其驚人的。這只是量變的推算,應(yīng)該考慮到量變到質(zhì)變產(chǎn)生的功能飛躍。

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1012bit／cm2稱為超高密度信息存儲,主要是數(shù)字0和1的存儲,安是納米電子學(xué)的基礎(chǔ)。每個信息存儲點的尺寸小于10nm,它含有的原子數(shù)有限。作為功能點與傳統(tǒng)的元件相比,它的特征是體積更?。?lt;109個原子）、材料更純（雜質(zhì)缺陷<10-8）、信號功率更低（<10-12焦耳）、信號的寫入讀出的響應(yīng)速度快（<納秒）。因此，超高密度信息存儲的研究要求發(fā)展新理論、新材料和新的組裝加工技術(shù)。

往復(fù)真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近些年北京大學(xué)和科學(xué)院北京真空物理實驗室重點研究有機復(fù)合薄膜的超高密度信息存儲器件，其制備的關(guān)鍵技術(shù)是納米厚度的高質(zhì)量功能薄膜。當(dāng)今的薄膜形成過程中能夠保持真空純潔環(huán)境，故可以得到高質(zhì)量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術(shù)主要有蒸發(fā)、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團束鍍等。

在分析了真空方法制備有機功能薄膜的幾種技術(shù)后，經(jīng)比較認(rèn)為，離子團束（ICB）沉積技術(shù)用于制備有機功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發(fā)經(jīng)過絕熱膨脹過程，電離過程形成荷電原子團，經(jīng)歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長，形成高質(zhì)量的薄膜，通過控制絕熱過程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無定形薄膜。

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