真空泵維修技術在信息薄膜加工中的應用

真空技術在信息薄膜加工中的應用

近半個世紀的歷史表明,電子學器件的發(fā)展對人類社會起了很大的推動作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對科學技術和生產的發(fā)展起了積極的促進作用。電子管的誕生是真空科學技術充分發(fā)展的結果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細加工高精技術的提高,其中很多加工過程都與真空技術有關。

微電子器件是現(xiàn)代高速計算機和個人計算機的基礎,當今在某些發(fā)達國家,微電子和計算機工業(yè)已經超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經濟產值的前位。在電子工業(yè)和計算機工業(yè)的發(fā)展中,真空科學與技術做出了重要貢獻。

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真空泵維修技術方法制備有機功能薄膜的技術

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1012bit／cm2稱為超高密度信息存儲,主要是數(shù)字0和1的存儲,安是納米電子學的基礎。每個信息存儲點的尺寸小于10nm,它含有的原子數(shù)有限。作為功能點與傳統(tǒng)的元件相比,它的特征是體積更?。?lt;109個原子）、材料更純（雜質缺陷<10-8）、信號功率更低（<10-12焦耳）、信號的寫入讀出的響應速度快（<納秒）。因此，超高密度信息存儲的研究要求發(fā)展新理論、新材料和新的組裝加工技術。

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近些年北京大學和科學院北京真空物理實驗室重點研究有機復合薄膜的超高密度信息存儲器件，其制備的關鍵技術是納米厚度的高質量功能薄膜。當今的薄膜形成過程中能夠保持真空純潔環(huán)境，故可以得到高質量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術主要有蒸發(fā)、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團束鍍等。

在分析了真空方法制備有機功能薄膜的幾種技術后，經比較認為，離子團束（ICB）沉積技術用于制備有機功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發(fā)經過絕熱膨脹過程，電離過程形成荷電原子團，經歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長，形成高質量的薄膜，通過控制絕熱過程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無定形薄膜。

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真空泵維修技術的保養(yǎng)小竅門

真空鍍膜產品長期暴露在空氣中，面對酸堿等強腐蝕性物質的接觸，還是難以抵擋。因此，平時保養(yǎng)維護時，盡量不選用含強酸強堿或去污能力強的清洗劑，如潔廁精，脫漆劑，金屬清洗劑等，可以選用工業(yè)酒精用絨布輕柔擦拭；如果表面有污垢，也要選用弱酸弱堿溶劑來處理。

此外，如果長時間暴露在惡劣環(huán)境中，或與腐蝕性液體長時間接觸，PVD膜層也容易出現(xiàn)脫落等問題，如游泳池（含氟），海水（含鹽分多），高溫高濕（蒸汽）等環(huán)境中。

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