微孔加工的剖分加工有兩種方法：一種是微小孔加工后再剖切，另一種是在緊密結(jié)合的兩塊光滑平板上沿結(jié)合縫打孔。由于孔徑微小，加工后剖切應(yīng)屬薄板切割。此時為取得較高切割精度應(yīng)使用激光切割。但由于切割光斑直徑較大(如薄板厚為5mm、要求切割速度為1.5m/min時，光斑直徑為0.2mm[6])，與所加工的微小孔直徑接近，切割后所剩余的微小孔內(nèi)表面太小，難以進行粗糙度測量；同時，為了保護微小孔內(nèi)壁在剖切時不受飛濺物的影響，通常在剖切前向微小孔內(nèi)先注入蠟等物質(zhì)以保護孔內(nèi)壁，但此時保護物對微小孔內(nèi)壁粗糙度測量結(jié)果的影響無法評估，因此采用這種剖切加工工藝時需非常慎重，以避免測量的困難。

微孔加工零件是怎樣的？

一、零件材料分析。該零件材料為DT4E，屬于硬度較低、剛度較差的材料。DT4E材料在切削過程中有如下特點：材料質(zhì)地較軟、粘性較大；切削溫度高；切屑不易折斷，易粘結(jié)；刀具易磨損。

二、零件結(jié)構(gòu)分析。此零件是液壓閥中的重要的功能零件，孔系表面要有高的硬度、好的耐磨性、強的耐腐蝕性、高的表面質(zhì)量，因此對零件的孔系表面進行鍍鎳處理。φ4.5H7、φ4.7H7尺寸為鍍鎳后尺寸，因要求表面鍍鎳層厚度為9～12μm，因此機械加工需保證孔的鍍前尺寸φ4.5 mm、φ4.7 mm ，同時需保證孔系的形位公差要求（基準A為零件左端φ35s7外圓）。

φ4.7H7孔與φ4.5H7孔聯(lián)接處要求R0.2mm，而兩孔的單邊差異只有0.1mm，這為微孔加工帶來了難度，且一般刀具很難保證R要求。

微孔加工——電火花加工：   電火花加工是另一種微孔加工方式。它的原理是基于工件和工具（正負極）之間脈沖性火花放電時的電腐蝕現(xiàn)象來蝕除多余的金屬，以達到對零件的尺寸形狀和表面質(zhì)量預(yù)定的加工要求。電火花腐蝕的主要原因是：電火花放電時通道中瞬時產(chǎn)生大量的熱，達到很高的溫度，足以使金屬材料局部融化，氣化而被蝕除掉，形成放電凹坑。電火花加工方法對于材料的去除是靠放電時的電熱作用實現(xiàn)的，材料的可加工性主要取決于材料的導(dǎo)電性及其熱學(xué)性能，而幾乎與材料的力學(xué)性能無關(guān)。這樣就突破了傳統(tǒng)加工對刀具的限制，可以實現(xiàn)軟刀具加工硬的工件。更重要的是，由于加工中工具電極和工件不直接接觸，沒有機械加工宏觀的切削力，因此更適于加工低剛度工件和細微工件，而且可以得到相當高的精密性和性。 電火花加工的突出局限性是：主要用于加工金屬導(dǎo)電材料，而且一般加工速度比較慢。但總的來說，電火花這種需要加工力小，有相對加工精度保證的加工方法，將會在以后的微孔加工中受到更多的重視。

技術(shù)是20世紀80年代末出現(xiàn)的一種先進制造技術(shù)[2]。采用快速原型技術(shù)可以對產(chǎn)品設(shè)計進行快速評價和修改，以及時響應(yīng)市場需求，提高企業(yè)的競爭能力。熔融沉積造型作為一種快速原型制造工藝，是指采用熱熔噴頭將處于半流動狀態(tài)的材料按CAD分層數(shù)據(jù)控制的路徑逐層擠出，堆積、凝固后形成整個原型或零件[3]。常見的用于FDm的噴頭口型直徑約為0.2mm，屬微小孔范圍。目前如此微小的孔可以使用電火花、高速鉆削以及激光等方法加工。激光加工工藝近年來發(fā)展較快，現(xiàn)在已經(jīng)可以用激光在紅、藍寶石上加工直徑為0.3mm、深徑比為50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦極細的激光束方便地鉆出直徑為0.1～0.3mm的微小孔[5]。考慮到微小孔激光加工工藝的的優(yōu)點及其應(yīng)用日益增加的趨勢，本文著重研究采用激光加工的微小孔內(nèi)表面粗糙度的測量。