氣體分析質(zhì)譜儀：主要有：呼氣質(zhì)譜儀、氦質(zhì)譜檢漏儀等。除以上分類外，還可以從質(zhì)譜儀所用的質(zhì)量分析器的不同，將質(zhì)譜儀分為雙聚焦質(zhì)譜儀、四極桿質(zhì)譜儀、飛行時(shí)間質(zhì)譜儀、離子阱質(zhì)譜儀、傅里葉變換質(zhì)譜儀等。氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）：在這類儀器中，由于質(zhì)譜儀質(zhì)譜儀工作原理不同，又有氣相色譜-四極質(zhì)譜儀、氣相色譜-飛行時(shí)間質(zhì)譜儀、氣相色譜-離子阱質(zhì)譜儀等。離子源是質(zhì)譜儀的核心部件，其功能是提供合適的能量使樣品離子化，并使離子具有一定的能量。常用的離子源有電子轟擊源、化學(xué)電離源、快速原子轟擊源、激光電離源、電噴霧離子源等。

質(zhì)譜儀又稱質(zhì)譜計(jì)。分離和檢測(cè)不同同位素的儀器。即根據(jù)帶電粒子在電磁場(chǎng)中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測(cè)物質(zhì)組成的一類儀器。火花源質(zhì)譜儀不僅可以進(jìn)行固體樣品的整體分析，而且可以進(jìn)行表面和逐層分析甚至液體分析；激光探針質(zhì)譜儀可進(jìn)行表面和縱深分析；輝光放電質(zhì)譜儀分辨率高，可進(jìn)行高靈敏度，高精度分析。質(zhì)譜儀真空泵的保養(yǎng)方法，檢查和清潔前置真空泵入口過濾器，旋開入口轉(zhuǎn)接器，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入口過濾器。

質(zhì)譜分析是先將物質(zhì)離子化,按離子的質(zhì)荷比分離,然后測(cè)量各種離子譜峰的強(qiáng)度而實(shí)現(xiàn)分析目的一種分析方法。質(zhì)量分析器是將同時(shí)進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/e大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測(cè)器，采集放大離子信號(hào)，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。有機(jī)質(zhì)譜儀的基本工作原理是：利用一種具有分離技術(shù)的儀器，作為質(zhì)譜儀的"進(jìn)樣器"，將有機(jī)混合物分離成純組分進(jìn)入質(zhì)譜儀，充分發(fā)揮質(zhì)譜儀的分析特長(zhǎng)，為每個(gè)組分提供分子量和分子結(jié)構(gòu)信息。

質(zhì)譜儀的日常維護(hù)，當(dāng)發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)漏氣時(shí)，必須找到漏氣點(diǎn)?？梢杂眠M(jìn)樣針吸取少量石油1醚，依次注射于進(jìn)樣口上部螺母、色譜柱兩端接頭和離子源前門處，并觀察43質(zhì)量數(shù)的峰高，如峰高明顯增大，說明該部位有漏氣。質(zhì)量分析器是將同時(shí)進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/e大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測(cè)器，采集放大離子信號(hào)，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。質(zhì)譜分析儀是按照離子的質(zhì)荷比(m/z)不同，分離不同分子量的分子，測(cè)定分子量并進(jìn)行成分和結(jié)構(gòu)分析的一種精密、的儀器。