湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

離子滲氮是在真空室內(nèi)進行的，工件接高壓直流電源的負極，真空鐘單接正極。56MHZ)輝光放電離子體中形成非對稱放電，面積小的那個電容耦合陰極有可能形成并建立陰極靶表面的負偏壓，并能產(chǎn)生濺射。將真空室的真空度抽到66.67Pa后，充人少量氮氣或氫氣、氮氣的混合氣體。當(dāng)電壓調(diào)整到400~800V時，氮即電離分解成氮離子、氫離子和電子，并在工件表面產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。正離子受電場作用加速轟擊工件表面，使工件升溫到滲氮溫度。氮離子在鋼件表面獲得電子，還原成氮原子而滲人鋼件表面并向內(nèi)部擴散，形成滲氮層。

輝光離子滲氮的特點有：離子轟擊有凈化表面作用，自動去除鈍化膜，不銹鋼、耐熱鋼材料無需預(yù)先去除鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮?；衔飳咏Y(jié)構(gòu)、滲層厚度和組織可以控制。處理溫度范圍較寬，即使在350℃以下也能獲得一定厚度的滲氮層。

濺射靶起輝放電后，當(dāng)電源的輸出脈沖的重復(fù)頻率足夠高時，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子還沒有完全被中和完畢，第二個(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓與濺射靶的工作電壓接近或相同。處理紡織品和碳纖維等材料時不會出現(xiàn)擊穿和燃燒并且處理溫度接近室溫。當(dāng)電源輸出脈沖的重復(fù)頻率很低(例如幾百HZ以下)或滅弧時間過長(大于100ms以上)，濺射靶起輝放電后，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子已基本被中和掉，第二個(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓恢復(fù)至較高數(shù)值，與點火起輝時的高電壓接近或相同。??

?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產(chǎn)生打弧的幾率更低并優(yōu)于雙極性矩形波中頻靶電源。輝光放電時，在放電管兩極電場的作用下，電子和正離子分別向陽極、陰極運動，并堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū)。更適合于對薄膜表面和膜層質(zhì)量要求較高的濺射工藝。??一般來說，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個數(shù)量級的氣體壓強狀態(tài)下進行(例如，1.0×1-2Pa)。??