種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

集成電路制造對(duì)無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。高水平的安徽潔凈車間凈化生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境要求非常嚴(yán)格。另外，集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。

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車間凈化在運(yùn)行中消耗的能量主要包括:新風(fēng)熱濕處理消耗的能量、系統(tǒng)風(fēng)機(jī)運(yùn)行消耗的能量，潔凈室運(yùn)行的功率負(fù)荷是一般空調(diào)的3-30倍。為了凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能，我們應(yīng)該從系統(tǒng)運(yùn)行過程中消耗大量能源的項(xiàng)目入手。改變車間溫濕度凈化要求;減少排風(fēng)量;適當(dāng)降低靜壓;采用低阻空氣過濾器;非工作時(shí)間，使用值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行，系統(tǒng)中的進(jìn)、回風(fēng)機(jī)關(guān)閉。機(jī)組所有進(jìn)出管路全部保溫，閥門、接頭保溫要留出維護(hù)操作部位，如采用蒸汽盤管，在蒸汽管口處須安裝疏水器，排水通暢。盡量減少因風(fēng)扇及電機(jī)溫升而導(dǎo)致的空氣處理所消耗的能源;為減少空調(diào)系統(tǒng)和空調(diào)的漏風(fēng)，采取相應(yīng)的有效措施和方法，達(dá)到節(jié)能運(yùn)行的目的。

減少系統(tǒng)送風(fēng)量：潔凈室內(nèi)的送風(fēng)量較之一般恒溫恒濕空調(diào)房間內(nèi)的送風(fēng)量大很多，設(shè)法減少系統(tǒng)的送風(fēng)速度，可有效地節(jié)省處理空氣所耗用的能量，達(dá)到節(jié)能運(yùn)行的目的；5、GMP江西無塵車間日常需要進(jìn)行消毒滅菌，方法有很多，可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。在滿足工藝條件的前提下，將室內(nèi)橫斷面平均風(fēng)速降低20%，此時(shí)房間的送風(fēng)量大約可減少20%左右，這樣不僅減少了空氣處理所消耗的能量，而且也減少了輸送設(shè)備風(fēng)機(jī)運(yùn)行的耗電量。