近年來, 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動(dòng), 多級(jí)羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視。應(yīng)用范圍根據(jù)設(shè)計(jì)，SOGEVAC泵可用來抽空穩(wěn)定氣體，其工作范圍為從大氣壓到泵極限真空之間的粗真空范圍。多級(jí)羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護(hù)簡(jiǎn)單、清潔無(wú)油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計(jì)理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計(jì)算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動(dòng)等難點(diǎn)問題, 制約了多級(jí)羅茨干泵研制和生產(chǎn)。

萊寶真空泵維修故障類別，提議把故障分成運(yùn)行故障和特性故障。LEYBOLDOPTICSCCS系列（50至160對(duì)/8小時(shí)）視客戶要求而定，可使用LEYBOLDOPTICSCCS系列鍍膜機(jī)生產(chǎn)一或若干層（減反射層、防曬或鏡面層以及濾光片）。運(yùn)行故障可包含泵不轉(zhuǎn)，泵溫太高，漏油，漏水，溫度報(bào)警，氮?dú)鈭?bào)警，時(shí)間報(bào)警等，電流報(bào)警等。特性故障可包含極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪音、噴油、氣鎮(zhèn)特性等不合格或不可以符合要求。

 故障判斷與診斷例舉，泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手是否能轉(zhuǎn)動(dòng)，如果能轉(zhuǎn)動(dòng)，就泵體是沒卡死。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。泵能盤動(dòng)而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障；電機(jī)接線有誤；電機(jī)損壞；電源沒電等。不能轉(zhuǎn)動(dòng)或轉(zhuǎn)起來很重的，原因可能是因?yàn)槠饎?dòng)時(shí)泵溫度太低，泵油粘度太高?；蛟S是附生成物過多停機(jī)之后所導(dǎo)致，或許是旋片有變形導(dǎo)致等，油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結(jié)，或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中)有異物在泵內(nèi)(進(jìn)氣管中的焊渣、氧化物；旋片彈簧等泵零件的碎屑；旋片變形卡??；發(fā)生了咬合(銅套、轉(zhuǎn)子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。

羅茨真空泵定期檢查項(xiàng)目：

1、每日檢查：

a）油位檢查：油量過多，使溫度升高，油量過少，造成潤(rùn)滑不良。

b）電動(dòng)機(jī)負(fù)荷檢查：用功率表或電流，電壓表測(cè)量電動(dòng)機(jī)負(fù)荷。

c）溫度檢查：用溫度計(jì)檢查泵各部位溫度。

2、羅茨真空泵每月檢查：

聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動(dòng)。

3、羅茨真空泵每3個(gè)月檢查項(xiàng)目：

齒輪箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)。

4、羅茨真空泵每6個(gè)月檢查項(xiàng)目：

a）前蓋軸承箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)。

b）齒輪微量程度的磨損對(duì)轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。

c）活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否有磨損。