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無塵車間的總體設(shè)計(jì)
無塵車間位置的選擇,應(yīng)根據(jù)需要、經(jīng)濟(jì)等比較后確定:
一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低,自然環(huán)境較好的區(qū)域;
二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。
三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、貨流不穿越或少穿越的地段。
四、還有潔凈廠房頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時,潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍,潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化,可鋪植草坪、種植對大氣含塵農(nóng)度不產(chǎn)生有害影響的樹木,并形成綠化小區(qū)。但不得妨礙消防操作。
無塵車間的施工要點(diǎn)
1、 吊頂需是專為無塵車間設(shè)計(jì)的系統(tǒng),以便于安裝簡易快速、堅(jiān)固、美觀。有干、濕兩類。干吊頂用于過濾風(fēng)機(jī)系統(tǒng),濕系統(tǒng)用于回風(fēng)空調(diào)箱帶過濾風(fēng)口系統(tǒng)。
2、 濕吊頂須用密封膠密封。
3、 無塵車間墻為鋁合金板材,拆裝靈活。
4、 提升地板根據(jù)潔凈等級對換氣次數(shù)的要求不同,帶孔板的覆蓋率不同。安裝提升地板時,應(yīng)先確定立柱的定位,用專用膠將柱固定在環(huán)氧地面上,并在膠干后測試其牢固程度。
5、 所有提升地板內(nèi)管線不可在安裝立柱前施工。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的1級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于1級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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