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這種情況比較復(fù)雜，因?yàn)橹車(chē)鷼怏w介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會(huì)使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對(duì)真空條件下進(jìn)行的各種工藝過(guò)程的質(zhì)量有決定性的影響。

　　真空器件所使用的機(jī)械密封在結(jié)構(gòu)上并無(wú)特殊之處。對(duì)于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營(yíng)型單端面機(jī)械密封。第二種情況則要用雙端面機(jī)械密封，若使用單端面密封，勢(shì)必存在密封端面不能獲得潤(rùn)滑的問(wèn)題。

密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進(jìn)入密封面或安裝不當(dāng)造成的。密封面上的環(huán)形溝槽，多數(shù)是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環(huán)（動(dòng)環(huán)）的裂紋是由于傳動(dòng)件的振動(dòng)，橡膠圈的漲大以及石墨環(huán)本身的內(nèi)應(yīng)力造成的，而結(jié)焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫?zé)嵊徒橘|(zhì)中是常見(jiàn)的。

在理論分析方面，主要基于CFD進(jìn)行計(jì)算機(jī)模擬試驗(yàn)，研究問(wèn)題集中在T型槽干氣密封端面壓力場(chǎng)分布規(guī)律、工作參數(shù)、幾何參數(shù)對(duì)密封性能影響等方面。終結(jié)果皆表明T 型槽能產(chǎn)生較好的流體動(dòng)壓效果。2009年，Zhu等就工作參數(shù)和幾何參數(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的討論，得到了選擇工作參數(shù)和幾何參數(shù)的一般原則：槽數(shù)應(yīng)在12～16之間，槽深應(yīng)在4 ～ 6μm之間，平衡間隙應(yīng)在0.8 ～ 14 μm 之間。2012年，彭旭東等就不同轉(zhuǎn)速和壓力對(duì)T型槽干氣密封槽型幾何結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)選值的影響進(jìn)行了深入研究，進(jìn)一步為T(mén)型槽在不同操作條件下的實(shí)際設(shè)計(jì)與應(yīng)用提供了理論依據(jù)。

正常使用前，先進(jìn)行常壓運(yùn)轉(zhuǎn)，觀察密封部位的溫升是否正常，有否泄漏現(xiàn)象。如有輕微泄漏，可以跑合一段時(shí)間，使端面貼合得更加均勻，至泄漏量逐漸減少到正常為止。如運(yùn)轉(zhuǎn)1—3小時(shí)，泄漏量仍不減少，則需停車(chē)檢查;

正常工況運(yùn)轉(zhuǎn)，升壓升溫可分別緩慢進(jìn)行，并注意端面的溫升和泄漏情況，如一切正常，說(shuō)明即可投入生產(chǎn)使用。

停車(chē)時(shí)，應(yīng)先停渣漿泵，后停冷卻潤(rùn)滑系統(tǒng)。

動(dòng)環(huán)安裝后應(yīng)保證能在軸上靈活移動(dòng)，將動(dòng)環(huán)壓向彈簧后應(yīng)能自由彈回，保持動(dòng)靜環(huán)的垂直和平行。動(dòng)靜環(huán)密封膠圈的規(guī)格符合圖紙規(guī)定，表面不得有殘損、厚薄不均及軟硬不均現(xiàn)象，在大修時(shí)要更換密封膠圈。彈簧的外表面清潔無(wú)銹蝕，在使用前應(yīng)進(jìn)行長(zhǎng)度外形檢測(cè)和壓力試驗(yàn)，每組彈簧在規(guī)定壓縮長(zhǎng)度的壓力差應(yīng)符合要求，每組彈簧在規(guī)定壓縮長(zhǎng)度的壓力誤差符合要求。自由長(zhǎng)度允差不超過(guò)0.5mm，壓縮量不能過(guò)大過(guò)小，要求誤差±2mm。密封套與泵軸不能采用同一種材質(zhì)，兩側(cè)端面的平行度允差及與軸線的不垂直度允差不超過(guò)±0.20mm。實(shí)驗(yàn)研究表明：與普通密封端面進(jìn)行比較，機(jī)械密封的微孔端面結(jié)構(gòu)可顯著改善密封環(huán)的摩擦性能，且端面溫升、摩擦扭矩和摩擦系數(shù)遠(yuǎn)低于普通機(jī)械密封的相應(yīng)值，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)與理論研究基本符合。