的檢漏儀器應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設備的質量檢驗之中，應用氦質譜檢漏儀已經成為了一種常見的事項，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏。

檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏。吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如彈體、彈頭、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量,可以用低濃度氦氣)

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準。氦質譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體，以氣體剖析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣作為一種惰性氣體，對設備無腐蝕性，對容器環(huán)境和質譜環(huán)境干擾小，因此常作為漏氣體使用。