送風量大

潔凈度的提高和維持是半導體器件廠房空調系統(tǒng)設計和運行的重要任務，這一任務的完成要依賴很高的送風量，是以高能耗為代價的。四、中涂：待玻纖層樹脂固化后，再用磨機磨去突起的毛刺，然后清掃、除塵，再將調配好的中涂料用鏝刀平鏝在玻纖層上。就送風量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導件器件廠房內，為了滿足相應的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風量非常大。100級潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。

凈化廠房檢測技術標準的采用原則

1.      強制性國家標準是可以選用的標準

強制性的國家標準等同于國家的法規(guī)，應該嚴格地遵守執(zhí)行。違反強制性的國家標準屬于。強制性的國家標準中不僅有強制性的條文，還有非強制性的條文。非強制性的條文等同于推薦國家標準。

2.推薦性國家標準是可以選用的標準

推薦性的國家標準可以選用，也可以不用。然而在沒有約定的或者沒有強制性國家標準的情況下，推薦性的國家標準也具有法律效力，應該遵守執(zhí)行。也可以根據(jù)推薦性國家標準判案

3.國家標準是的標準

 國家標準體現(xiàn)著國家的和主權。±10%），加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調房間的空調系統(tǒng)加濕。首先，它體現(xiàn)著國家的意志，屬于技術法規(guī)，應該遵守和執(zhí)行。行業(yè)標準和地方標準不允許違反國家標準，但其技術要求可以高于國家標準；企業(yè)標準不允許違反行業(yè)標準和地方標準，更不允許違反國家標準，但其技術要求可以高于行業(yè)標準和地方標準，當然也可以高于國家標準

 人是凈化間內主要塵源之一。5～1小時之后進行，為避免人為造成的污染，靜態(tài)測試時潔凈室內僅限兩人。尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動，會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此，要獲得生產環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級，對凈化間的人員活動進行控制，是有效的途徑和措施。要把凈化間各項規(guī)章制度真正落到實處，關鍵就是人員的日常管理，把人員凈化管理作為首要控制要素，所以應該針對凈化間進出人員進行各項培訓。 （1）對新入職人員進行凈化間潔凈知識培訓。

（2）對操作人員在凈化間操作設備，搬運物料的專項培訓。

（3）對所有進出凈化間的人員進行衣著穿戴，進出制度的培訓。

（4）對所有人員在凈化間的日常行為規(guī)范的培訓。

每項培訓后，都要組織進行培訓效果的評估和考核，使人員在意識上認知：人員是凈化間內重要污染源，使大家在行動上能恪守相關的行為準則，比如：

a. 所有人員必須建立一個凈化間的概念，必須清楚地了解所有不規(guī)范的行為均有可能產生出廢品，并列舉出正確的凈化間行為規(guī)范及不規(guī)范的行為的種類。

b. 進入凈化間時，必須按正確流程穿戴凈化服、口罩、手套、凈化鞋。更換衣服時，必須防止干凈的凈化服拖到地面，或者和人員日常的非凈化服裝混放，造成凈化服表面被沾污。

c. 在凈化間中，人員的說話、咳嗽、打噴嚏等都會使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產品；在咳嗽或打噴嚏時，必須將頭從產品處移開，打噴嚏后一般都要更換口罩；口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。

凈化空調系統(tǒng)組合式空調器安裝：

（1）安裝前應檢查產品合格證，理解安裝說明書，熟悉各功能段的安裝設置

（2）檢查安裝基礎的強度，坐標位置，大小，標高及水平度，以減少因傾斜引起的運轉噪聲和振動。

（3）對設備內部進行清洗，擦拭清除塵雜物和油污。檢查送回風機是否有雜物，手動旋轉葉輪時是否有異響。

（4）檢查設備各檢修門是否平整，啟閉是否正常，密封是否脫落，關門檢查箱體是否有漏光，空調允許漏風率不大于2％。

（5）檢查設備內表冷器是否有明顯損壞，隨機配套風量調節(jié)是否啟閉正常，對表冷器碰歪的翅片應以校正。

（6）空調器送回風風口與風管連接處應采取柔性連接。

（7）設備運轉前應檢查機內初中效過濾器是否有明顯洞孔，松脫。