凈化車間與機(jī)房離隔的區(qū)別

機(jī)房方位 空調(diào)機(jī)房接近需求送風(fēng)量大的凈化車間，力求風(fēng)管的線路。但從避免噪聲和振蕩來說又需求把凈化車間與機(jī)房離隔。這兩方面都予以思考。離隔方法有： 結(jié)構(gòu)別離方法。有以下幾種： (1)沉降縫離隔式。使沉降縫在凈化車間與機(jī)房之間經(jīng)過，起切割效果。 (2)夾壁墻離隔式。假如機(jī)房緊靠凈化車間，不是共用一面墻隔墻，而是各自有各自的隔墻，而雙面隔墻之間留有必定寬度的縫隙。 (3)輔佐室離隔式。在凈化車間與機(jī)房之間設(shè)輔佐室，起緩沖效果。

安全分散由于凈化車間是密閉性很強(qiáng)的修建

安全分散 由于凈化車間是密閉性很強(qiáng)的修建，其安全分散變成十分重要和突出的疑問，和凈化空調(diào)體系設(shè)置也有密切關(guān)系。通常應(yīng)留意以下幾點： 1.每一出產(chǎn)層防火區(qū)或凈化區(qū)至少設(shè)2個安全出口，只要面積小于50㎡，人員少于5人時，可答應(yīng)只設(shè)一個安全出口。 2.人凈進(jìn)口不應(yīng)作分散出口。由于人凈道路通常轉(zhuǎn)彎抹角，一旦煙火迷漫，需求人員很快跑到室外是很艱難的事。

我國使用的0

我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進(jìn)口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達(dá)1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術(shù)在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。

風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈無塵車間所必備的凈化設(shè)備

風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈無塵車間所必備的凈化設(shè)備，通用性強(qiáng)，可與所有的潔凈室和潔凈廠房配套使用，工作人員進(jìn)入車間時，必須通過此設(shè)備，用強(qiáng)勁潔凈的空氣，由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個方向噴射至人身上，有效而迅速清除去附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物，它可以減少人進(jìn)出潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。杜絕工作人員將頭發(fā)，灰塵、細(xì)菌帶入車間，達(dá)到工作場地嚴(yán)格的無塵凈化標(biāo)準(zhǔn)，生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。