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半導體制造及封裝測試的各個工藝步驟
半導體制造及封裝測試的各個工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生,主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水為主。⑴酸堿廢水:對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi),時間間歇性強。在排放水體或進行生物處理或化學處理之前,必須進行中和,使廢水pH值達到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達3%~5%的廢水,應(yīng)首先考慮其回收。⑵含氟廢水:含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學沉淀法,即投加化學藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀,然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。
潔凈室的建筑布局和凈化空調(diào)系統(tǒng)有密切關(guān)系
潔凈室的建筑布局和凈化空調(diào)系統(tǒng)有密切關(guān)系,凈化空調(diào)系統(tǒng)既要服從建筑總體布局,建筑布局也要符合凈化空調(diào)系統(tǒng)的原則,才能充分發(fā)揮相關(guān)功能的作用。凈化空調(diào)的設(shè)計者不僅要了解建筑布局以考慮系統(tǒng)的布置,而且要給建筑布局提出要求,使其符合潔凈室原理。潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
上下夾層內(nèi)的水平管線一般都要轉(zhuǎn)向為豎向管線
上下夾層內(nèi)的水平管線一般都要轉(zhuǎn)向為豎向管線,這此豎向管線所在的隱蔽空間即技術(shù)夾道。技術(shù)夾道還可以放置不宜在潔凈室內(nèi)的一些輔助設(shè)備,甚至還可以作為一般回風管道或靜壓箱,有的可安設(shè)光管型散熱器。如果說技術(shù)夾道(墻)往往不越層,則需要越層時即用技術(shù)豎井,并且經(jīng)常作為建筑結(jié)構(gòu)的一部分,具有性。由于技術(shù)豎井把各層起來,為了防火,內(nèi)部管線安裝完成后,要在層間用耐火極限不低于樓板的材料封閉,檢修工作分層進行,檢修門必須設(shè)防火門。