FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。開啟扇與框料相互搭接的槽口尺寸與槽口形式問題，是活動縫隙密封設計小必須注意的重要問題。此外，還有生產輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

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衛(wèi)生管理系統(tǒng)

1、為了防止交叉污染，清掃凈化車間設施的工具均應按產品特點、工藝要求、空氣潔凈度級別的不同分別專用，垃圾裝入防塵袋中拿出。

2、GMP車間的清掃必須在上下班前、生產工藝操作結束后進行，并且要在凈化車間空調系統(tǒng)運行中進行，此外，清掃工作結束后，凈化空調系統(tǒng)要繼續(xù)運行，直到恢復規(guī)定的潔凈級別為止，開機運行時間一般不短于該GMP車間的自凈時間。

　因為灰塵顆粒經常被細菌用作載體，空氣中的灰塵顆粒越多，細菌接觸它們并附著它們的機會就越多。一個單獨的細菌，雖然體積很小，但通常在大氣中以菌落的形式存在，它通常與灰塵顆粒共存，為它提供食物和水。2倍進行考慮，務必注意承載體的強度和可靠性，否則將有重大隱患?？諝膺^濾器對細菌和病毒有較高的過濾效率，過濾器的過濾效率接近100%。對于要求不是很高的車間凈化，使用次過濾器或接近次過濾器介質的過濾器也可以滿足要求。

凈化車間空調機組相結合的空調系統(tǒng)是一個重要的空氣處理設備,用戶必須嚴格按照暖通空調設備施工安裝規(guī)范,為了使機組能夠正常運行使用,嚴禁安裝在灰塵、腐蝕性氣體、濕度大的地方。因此，盡快組織有關部門，按建筑的不同類型和規(guī)模及潔凈度要求，制訂出適宜的限額設計標準，作為設計部門的“對照表”是設計管理工作中的一項重要任務。在安裝之前需要對安裝機組的基礎進行檢查，提供的鋼支座或混凝土基礎必須要有足夠的強度和剛度，能足以承受機組運行時的所有重量和振動。