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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
掩膜版:通俗點理解,相當于過去用膠片沖洗照片時的底片。底片如果精度不夠,是洗不出來照片的。光刻機施工前,要根據(jù)設(shè)計好的芯片電路圖制作掩膜板。掩膜板材質(zhì)是石英玻璃,玻璃上有金屬鉻和感光膠。通過激光在金屬鉻上繪制電路圖。精度要求非常高。
透鏡:用透鏡的光學原理,將掩膜版上的電路圖按比例縮小,再用光源映射的硅片上。光在多次投射中會產(chǎn)生光學誤差。要控制這個誤差。精度要求很高。
就是測量臺移動的控制器,也是納米級精度,要求超高。
光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長,主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學透過率較高,熱膨脹率相對高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版
蘇達掩膜版