激光氣體的介紹

一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質(zhì)的激光氣，統(tǒng)稱為氣體激光氣。這是目前種類zui多、發(fā)展zui快應(yīng)用zui廣的一類激光器。通常可以把氣體激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準(zhǔn)分子激光器、氣體激光器的激勵(lì)方式很多，通常采用氣體放電激勵(lì)，氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧。

目前掌握激光甲1烷氣體探測(cè)芯片生產(chǎn)制造技術(shù)的國家主要是加拿大、美國、日本、挪威等甲1烷激光氣體傳感器芯片大規(guī)模量產(chǎn)，也意味著將實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代進(jìn)口芯片。事物都由原子構(gòu)成，而不同元素的原子會(huì)吸收或釋放不同頻率（波長(zhǎng)）的光。基態(tài)原子吸收能量就變成激發(fā)態(tài)原子，而激發(fā)態(tài)原子釋放能量就變成基態(tài)原子。除了質(zhì)譜儀就只有激光氣體分析儀了，但是質(zhì)譜儀對(duì)儀器環(huán)境和氣體預(yù)處理要求很高，它的日常維護(hù)也不簡(jiǎn)單，重要的是價(jià)格老貴。

隨著人們環(huán)保意識(shí)的不斷增強(qiáng)以及各國政府對(duì)大氣污染防治的重視，為氣體傳感器的應(yīng)用創(chuàng)造了巨大的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。從光譜上可以看出，對(duì)于CH4、CO、CO2，在近紅外、中紅外和遠(yuǎn)紅外區(qū)域都有吸收譜，并且其佳的激光是用中紅外激光；而對(duì)于氨氣，遠(yuǎn)紅外激光來測(cè)量好。

如果將氦（He）nai（Ne）激光作為1代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆痥e（KrF）激光，可稱為第三代激光。我們必須承認(rèn)，氦氣與ya氣相比，確實(shí)有比較高的電離率和較低的等離子體形成電壓，但是它的分子重量較小。因此，氦保護(hù)氣需要較大的流速。除了質(zhì)譜儀就只有激光氣體分析儀了。