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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
掩膜板是光刻圖形的基準(zhǔn)和藍(lán)本,掩膜板上:的任何缺陷都會對終圖形精度產(chǎn)生嚴(yán)重的影響。所以掩膜板必須保持“完關(guān)”。
使用掩膜板存在許多損傷來源:掩膜板掉鉻:表面擦傷,需要輕拿輕放:靜電放電(ESD),在掩膜板夾子.上需要連一根導(dǎo)線到金屬桌面,將產(chǎn)生的靜電導(dǎo)出。其工藝質(zhì)量直接影響著器件成品率、可靠性、器件性能以及使用壽命等參數(shù)指標(biāo)。另外,不能用手觸摸掩膜板:灰塵顆粒,在掩膜板盒打開的情況下,不準(zhǔn)進(jìn)出掩膜板室(Mask Room),在存取掩膜板時(shí)室內(nèi)保持2人。
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外,還廣泛的應(yīng)用與像LCD,PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種,鉻版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分,基板和不透光材料。光掩膜是刻有微電路的版,由表面純平并帶有一層鉻的石英板或玻璃板制作而成,蝕刻后的殘留鉻部分即為設(shè)計(jì)的微電圖。基板通常是高純度,低反射率,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。
光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過曝光過程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。
1) 繪制生成設(shè)備可以識別的掩膜版版圖文件(GDS格式)2) 使用無掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式曝光(曝光波長405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)3) 經(jīng)過顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層4) 使用鉻刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕,將暴露出的鉻層刻蝕掉形成透光區(qū)域,而受光刻膠保護(hù)的鉻層不會被刻蝕,形成不透光區(qū)域。這樣便在掩膜版上形成透光率不同的平面圖形結(jié)構(gòu)。石英玻璃(QuartzGlass)蘇打玻璃(Soda-limeGlass)低膨脹玻璃(LowExpansionGlass)2、透明樹脂遮光膜(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。5) 在有必要的情況下,使用濕法或干法方式去除掩膜版上的光刻膠層,并對掩膜版進(jìn)行清洗。
光呆板業(yè)界別稱光掩模板、掩膜版,光罩,英文名字MASK或PHOTOMASK),材料:石英玻璃、金屬鉻和光感應(yīng)膠,該商品是由石英玻璃或是碳酸鈉夾層玻璃做為襯底,在其上邊鍍上一層層金屬鉻和光感應(yīng)膠。在制版中影響印版質(zhì)量的因素,主要有顯影液濃度、顯影溫度和顯影時(shí)間以及顯影液的循環(huán)攪拌情況、顯影液的疲勞程度等。在塑料薄膜、塑膠或夾層玻璃化學(xué)反應(yīng)原材料上制做各種各樣作用圖型并精i明確位,便于用以光致抗蝕劑鍍層可選擇性曝i光的這種構(gòu)造,稱之為光刻掩模板。