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漲知識！帶你了解14類工業(yè)氣體

蝕刻氣體

蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制方便、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污, 所以其應(yīng)用范圍日益廣泛。

摻雜氣體(Dopant Gases)

在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi), 以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率, 用來制造PN結(jié)、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。

注意事項

包裝的氮氣鋼瓶上均有使用的年限，一般為5年必須檢驗，30年強制報廢，凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗，方能繼續(xù)使用。

每瓶氮氣在使用到尾氣時，應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa，不得低于0.25MPa余壓，應(yīng)將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用安全。

氣瓶如何安全管理

存儲場所允許溫度應(yīng)根據(jù)盛裝氣體性質(zhì)而確定，儲存場所的相對濕度應(yīng)控制在80％以下。      

存儲毒性氣體或可燃性氣體氣瓶的室內(nèi)儲存場所，必須監(jiān)測儲存點空氣性氣體或可燃性氣體的濃度。

如果濃度超標(biāo)，應(yīng)強制換氣或通風(fēng)，并查明危險氣體濃度超標(biāo)的原因，采取整改措施。        

如果氣瓶漏氣，首先應(yīng)根據(jù)氣體性質(zhì)做好相應(yīng)的人體保護。