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羅茨泵物理原理
羅茨泵 (roots-type pump) 是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去。當轉子繼續(xù)轉動時,氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實現(xiàn)高轉速運行。由于300mbar是地球表面可以觀測到低的大氣壓,所以,真空也指容器內(nèi)的氣體壓強低于300mbar的狀態(tài)。
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羅茨泵總體結構三種方案
1、立式:兩個轉子的軸線呈水平安裝,但兩個轉子軸線構成的平面與水平面垂直,這種結構,泵的進排氣口呈水平設置,裝配和連接管道都比較方便。
2.臥式:兩個轉子的軸線呈水平安裝,兩個轉子軸線構成的平面成水平方向,這種結構的泵的進氣口在泵的上方,排氣口在泵的下方(也有與此相反的)。下邊的排氣口一般為水平方向接出,所以進排氣方向是相互垂直的。排氣口接一個三通管向兩個方向開口,一端接排氣管道,另一端死或接旁通閥時使用。排氣口接一個三通管向兩個方向開口,一端接排氣管道,另一端死或接旁通閥時使用。
3、豎軸式:國外有的羅茨真空機組的兩個轉子軸線與水平面垂直安裝。這種結構的裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,占地面積小,但齒輪等傳動機構裝拆不便,潤滑裝置也較復雜。
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羅茨泵的真空度
真空度是指某一空間內(nèi)氣體的稀薄程度。壓強是指氣體分子對單位容器表面造成的壓力(壓強是壓力與面積的比值,即P=F/S)。
真空度與壓強的國際制單位均為帕斯卡(Pa)。真空度越高,表明氣體越稀薄,空間內(nèi)氣體分子數(shù)越少,因此,對器壁產(chǎn)生的壓力越小。由此得出真空度與壓強的關系:真空度越高,壓強越低;真空度越低,壓強越高。
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