根據(jù)等離子體激元裝置反射的激光的量，就可以得到間隙的寬度和納米顆粒的運動。假設(shè)間隙由于納米顆粒的運動而改變，使得等離子體激元的固有頻率或諧振更接近于激光的頻率。在這種情況下，等離子體激元能夠從激光吸收更多的能量，并且反射較少的光。

為了在實用設(shè)備中使用這種運動感測技術(shù)，將黃金納米顆粒嵌入微觀尺度的機械結(jié)構(gòu)中，這是一種由氮化硅制成的類似微型跳臺的振動懸臂梁，只有幾微米長。即使它們沒有運動，這種裝置也不會完全靜止，而是以高頻振動，在室溫下隨著分子的運動而推擠。即使振動的振幅很微小，僅移動了亞原子級距離，使用這種新的等離子體激元技術(shù)也很容易檢測到。同理，通常都采用較大的機械結(jié)構(gòu)進行科學(xué)測量并用作實際的傳感器；，在汽車和智能手機中探測運動和方位。NIST科學(xué)家希望他們這種納米級測量運動的新方法將有助于進一步小型化許多這樣的微機械系統(tǒng)，并提高其性能。這是一臺具有位置反饋功能的雙坐標(biāo)數(shù)控車床，可實時改變刀座導(dǎo)軌的轉(zhuǎn)角θ和半徑R，實現(xiàn)非球面的鏡面加工。

位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關(guān)的量，位移的測量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。其中光柵傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率高的可達(dá)到納米級）、抗干擾能力強、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點，在機床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。我見過有的傳感器使用單位，動輒要幾個微米，甚至納米級別的測量精度，測量速度還超高，問其真的有必要提這么高的要求嗎。

納米級位移傳感器又稱為線性傳感器，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，位移傳感器超聲波式位移傳感器，k和納米位移計。

電感式位移傳感器KD5100是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件，接通電源后，在開關(guān)的感應(yīng)面將產(chǎn)生一個交變磁場，當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時，金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量，使振蕩器輸出幅度線性衰減，然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的。ZEISS的VAST三維六向掃描測頭系統(tǒng)，采用平行片機構(gòu)，分辨率為0。