電容式非接觸式測(cè)微儀，通過(guò)電容測(cè)頭可以測(cè)量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測(cè)量精度為納米級(jí)。測(cè)微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成，可組成多測(cè)量通道數(shù)。      它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線性的。

《高精度差動(dòng)式多層環(huán)形電容測(cè)微儀》電容傳感器是一種通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)械結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)低功耗、良好的動(dòng)態(tài)性能以及非接觸式測(cè)量等特點(diǎn)的傳感器。電容傳感器能有效檢測(cè)到微米級(jí)的位移變化，具有非常高的精度，應(yīng)用前景廣泛。目前主要廣泛應(yīng)用于地震災(zāi)害監(jiān)測(cè)、航空航天及工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)微小位移、液位、壓力、重力等參數(shù)的測(cè)量。

CDMS使用電容傳感器實(shí)現(xiàn)非接觸位移、位置、振動(dòng)、角度、介電常數(shù)及各種形變、厚度、剛度等參數(shù)的高精度檢測(cè)。基于理想平板電容原理設(shè)計(jì)研發(fā)的，被測(cè)物體與傳感器各自作為一個(gè)平板電極。給傳感器一個(gè)持續(xù)穩(wěn)定的交流電，交流電壓的振幅變化與電容到被測(cè)物體之間的距離成正比。交流電經(jīng)過(guò)解調(diào)，可以輸出為模擬量信號(hào)。

公司相關(guān)技術(shù)打破了國(guó)外壟斷，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。

精密離心機(jī)主軸回轉(zhuǎn)誤差直接影響精密離心機(jī)動(dòng)態(tài)半徑的測(cè)量、離心加速度輸出精度以及精密離心機(jī)主軸運(yùn)行安全性,必須精準(zhǔn)測(cè)量主軸回轉(zhuǎn)誤差參數(shù)；介紹一種應(yīng)用3個(gè)電容測(cè)微儀測(cè)試并分離主軸回轉(zhuǎn)誤差與圓度誤差的方法,利用MATLAB對(duì)三只電容測(cè)微儀安裝角度誤差、主軸全周采樣點(diǎn)數(shù)、測(cè)試系統(tǒng)本底噪聲對(duì)主軸回轉(zhuǎn)誤差測(cè)試結(jié)果影響進(jìn)行分析,得出采樣點(diǎn)數(shù)N、測(cè)微儀安裝角度誤差δα、δβ以及測(cè)試系統(tǒng)本底噪聲對(duì)回轉(zhuǎn)誤差分離的影響,基于結(jié)果確定了10-6量級(jí)精密離心機(jī)主軸回轉(zhuǎn)誤差測(cè)量的幾個(gè)工程參數(shù)。該方法已應(yīng)用于某高精度精密離心機(jī)主軸回轉(zhuǎn)誤差精密測(cè)試中,實(shí)測(cè)表明,轉(zhuǎn)速在300 rpm內(nèi)精密離心機(jī)純回轉(zhuǎn)誤差測(cè)量結(jié)果為0.25 μm,滿足10-6量級(jí)高精度精密離心機(jī)的研制指標(biāo)需求。

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，工業(yè)生產(chǎn)需要人們對(duì)微位移測(cè)量的精度和定位的精度提出更高的要求。在眾多的測(cè)量?jī)x器當(dāng)中，非接觸式測(cè)量?jī)x器由于其自身的優(yōu)點(diǎn)，成為微位移測(cè)量領(lǐng)域的主流研究方向之一。而電容測(cè)微技術(shù)作為非接觸式測(cè)量微位移的重要手段，具有溫度穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍大、測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠、使用方便，并可實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸式測(cè)量等一系列優(yōu)點(diǎn)，特別適宜動(dòng)態(tài)、在線檢測(cè)，并能在特殊環(huán)境下工作特別是隨著集成電路技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，促使電容傳感器揚(yáng)長(zhǎng)避短，使電容傳感器成為一種很有發(fā)展前途的傳感器，近年來(lái)得到了大范圍的研究和推廣，廣泛應(yīng)用于航天航空技術(shù)、精密機(jī)械加工以及其他工業(yè)測(cè)控領(lǐng)域中，主要用來(lái)測(cè)量各種介質(zhì)的薄膜厚度、金屬微變、微小相對(duì)位移、微小孔徑及各種截面的形狀誤差等。尤其能在強(qiáng)光照射、核輻射條件、過(guò)載沖擊震動(dòng)等惡劣環(huán)境下工作。