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什么是自動化流水線UV固化爐
UV固化爐使用的功能不同,分成了很多類型。有針對型UV固化的獨立式UV固化爐,有配合流水線生產(chǎn)固化用的UV爐。在之前我們也講到過分離式UV爐和融合式UV爐,自動化流水線UV固化爐就是融合式UV爐。這種UV固化爐的作用就是與自動化生產(chǎn)線合為一體,通過快速的LED芯片式紫外線UV光照瞬間固化來提升生產(chǎn)效率。這種UV爐其實是自動化生產(chǎn)線的一部分。有些UV爐也會符合流水線的要求具備自動化的功能。
退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋該诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
1、烘干區(qū)體外表面溫度過高
區(qū)體保溫材料選用不當是造成隔熱效果較差、表面溫度超標和保溫性達不到要求的主要原因。這不僅造成能耗增加,也不符合國家標準GB1444321993《涂裝作業(yè)安全規(guī)程涂層烘干室安全技術(shù)規(guī)定》第5.9.2條要求:烘干區(qū)應有良好的保溫,外壁表面溫度不應高于室溫15℃。
2、廢氣排放管道設(shè)置不當或沒有設(shè)置
有的烘干流水線、隧道爐等烘干線的廢氣排放管口沒有接到室外,而在車間內(nèi),廢氣直接排入車間里,造成車間內(nèi)空氣污染;有的烘干流水線、隧道爐等烘干線的廢氣排放口沒有設(shè)置在廢氣濃度的部位,不利于廢氣快速排出,防止積聚,也不符合國家