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相對(duì)濕度在35%-40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度,包含腐蝕的進(jìn)程,將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí),高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物,并阻止進(jìn)一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護(hù)才能的,因而,在高濕度的環(huán)境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。
無塵室車間全體凈化:無塵室可分為層流型和亂流型。層流無塵室是指空氣由一側(cè)全部地以同速流向另一側(cè),使室內(nèi)發(fā)作的塵?;蚣?xì)菌不會(huì)向附近渙散而被平推出室外或許通過回風(fēng)口過濾器過濾處理,而到達(dá)好的chu菌效果,該方法對(duì)比合適用于高潔凈度等級(jí)請(qǐng)求的職業(yè)無塵室。亂流無塵室是指空氣由無塵室頂部通過組合式空調(diào)機(jī)組初中效過濾器過濾,加壓由通過保溫的風(fēng)管渙散送到各個(gè)房間,終通過送風(fēng)口送入無塵室內(nèi),以到達(dá)凈化的效果,該送風(fēng)方法對(duì)比常見,回風(fēng)通常做在旮旯或許立柱的底部,全體回風(fēng);無塵室的送風(fēng)體系少不了各種空氣過濾器的嚴(yán)格控制,下面為我們簡略介紹一下過濾器HAPE。