三坐標測量儀與輪廓儀的區(qū)別

從結構上來說，

　　三坐標測量儀主要由：1.機械系統(tǒng)，2.測頭系統(tǒng)，3.電氣控制硬件系統(tǒng)，4.數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)組成。輪廓儀的結構：

　　輪廓儀由花崗巖平板、工作臺、傳感器、驅動箱、顯示器、電腦和打印機等部分組成.測量時可選定被測零件的不同位置，設定各種測量長度進行自動測量，評定段內(nèi)采樣數(shù)據(jù)達數(shù)萬個點?；旧现v，不可以簡單判斷一個被測物體是否可以被輪廓掃描儀傳感器測量。并可顯示或打印輪廓形狀及其尺寸，各種粗糙度參數(shù)及輪廓的支承長度率曲線等。

有人說他的產(chǎn)品規(guī)格有10噸，20噸，30噸，40噸的，現(xiàn)在看來就不合理了吧？如果你取兩倍的話，應該是10噸，20噸，40噸，80噸，或者保住頭尾，也應該是10噸，16噸，25噸，40噸，公比為1.6才合理。這就是“標準化”，論壇上常常看到有人說“標準化”，實際他們說的是“標準件”，所做的工作只是將整機的標準件整理一下，就叫標準化了，實際不是這樣的。輪廓儀助力半導體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展晶圓IC減薄后的粗糙度檢測在硅晶圓的蝕刻完成后，根據(jù)不同的應用需求，需要對制備好的晶圓IC的背面進行不同程度的減薄處理，在這個過程中，需要對減薄后的晶圓IC背面的表面粗糙度進行監(jiān)控以滿足后續(xù)的應用要求。真正的標準化，你要把你的產(chǎn)品的所有參數(shù)按優(yōu)先數(shù)系形成序列化，再把所有的零部件的功能參數(shù)及尺寸，用優(yōu)先數(shù)系來序列化才對。

觸針法表面粗糙度利用針尖曲率半徑為2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉換為電信號，經(jīng)放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。通常輪廓儀測量的范圍比較大，10-60mm，所以通過電感傳感器做輪廓儀就必須通過杠桿比例把量程放大。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。