通常，標(biāo)準(zhǔn)氣體的使用有效期是根據(jù)穩(wěn)定性試驗(yàn)結(jié)果來加以確定的。有效期是指濃度變化率不超過規(guī)定指標(biāo)的時(shí)間間隔。襄陽標(biāo)準(zhǔn)氣體價(jià)格,襄陽標(biāo)準(zhǔn)氣體分享鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度很低時(shí)，其濃度變化較大，因此從穩(wěn)定性的現(xiàn)點(diǎn)來看，組分氣體濃度越高越穩(wěn)定。

高壓鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度即使在5*10-5以上，鋼瓶中的組分氣體仍在發(fā)生變化，所以一般把能夠保證標(biāo)準(zhǔn)值的有效期定為半年到一年。如果有些準(zhǔn)氣體已超過有效期，但容器中的殘壓在8106kPa(80atm)以上時(shí)可以再次測(cè)定，確定值后繼續(xù)使用。

隨著用戶消耗標(biāo)準(zhǔn)氣體而殘壓變化時(shí)，被吸附在容器內(nèi)壁上的各種成分氣體便解吸下來，使?jié)舛戎蛋l(fā)生變化。一般規(guī)定，高壓鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體的殘壓低于1013.25kPa(10atm)時(shí)，停止使用。

三、使用高壓氣體應(yīng)注意的問題

1)高壓氣體容器好存放室外，應(yīng)直立存放，固定牢固，并防止太陽直射，風(fēng)吹日曬。

2)管道，壓力表禁止用紫銅(含銅60%)材料制作，否則會(huì)形成銅，是一種劑。

3)高壓氣體裝有主減壓器時(shí)方可使用，其減壓器，壓力表，導(dǎo)管要專用，不準(zhǔn)互相代用。

4)高壓氣瓶閥左旋開啟，右旋關(guān)閉，但氫氣、、等或有毒氣體氣瓶閥出口螺紋為反扣。瓶閥開關(guān)應(yīng)用專用手輪，嚴(yán)禁使用長臂扳手。

5)開瓶時(shí)閥門要充分打開，但瓶旋開不應(yīng)超過1.5轉(zhuǎn)，要防止流出。

6)鋼瓶裝壓力低于0.5MPa時(shí)，就應(yīng)更換，否則鋼瓶中會(huì)沿管路流進(jìn)火焰，致使火

焰不穩(wěn)噪聲加大，并造成管路污染堵塞。

7)氣瓶應(yīng)留0.5Mpa余壓。防止氣瓶放空，空氣混入污染氣瓶或在氣瓶內(nèi)形成氣。

液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低,當(dāng)溫度降至2

液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低，當(dāng)溫度降至2.178K時(shí)，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動(dòng)性的液氦，此時(shí)的液態(tài)氦氣被稱為超流體。液態(tài)氦氣已實(shí)際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。

普通液氦的工業(yè)生產(chǎn)方法

普通液氦是一種很易流動(dòng)的無色液體，其表面張力小，折射率和氣體差不多，因而不易看到它。液態(tài)4He包括性質(zhì)不同的兩個(gè)相，分別稱為HeⅠ和HeⅡ，在兩個(gè)相之間的轉(zhuǎn)變溫度處，液氦的密度、電容率和比熱容均呈現(xiàn)反常的增大。兩個(gè)液相HeⅠ和HeⅡ間的轉(zhuǎn)變溫度稱為λ點(diǎn)，飽和蒸氣壓下的λ點(diǎn)為2.172K，壓強(qiáng)增加時(shí)，λ點(diǎn)移向較低的溫度，兩個(gè)液相的相變曲線為一直線，稱為λ線。氦氣的工業(yè)生產(chǎn)方法