石英撓性加速度計(jì)是一種力平衡式傳感器，它將輸入加速度轉(zhuǎn)換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。壓力傳感器與被測(cè)對(duì)象同時(shí)都處于被干擾的環(huán)境中，不可避免地受到外界的干擾。由于采用了力反饋回路，使這種撓性加速度計(jì)具有精度高，抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)。適合于低頻低g值的加速度測(cè)量，是慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)系統(tǒng)中不可缺少的關(guān)鍵器件之一，石英撓性加速度計(jì)就找航新，為了在保證系統(tǒng)噪聲能力的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的微機(jī)械加速度計(jì)系統(tǒng)，提出了一種多位量化的加速度計(jì)系統(tǒng)。通過(guò)應(yīng)用靜電力反饋線性化電路，實(shí)現(xiàn)了一種四階多位量化微機(jī)械加速度計(jì)結(jié)構(gòu)。廊坊市航新儀器儀表有限公司專業(yè)開發(fā)生產(chǎn)各類專用設(shè)備并自主研發(fā)了石英撓性加速度計(jì)產(chǎn)品。生產(chǎn)設(shè)備如：立式加工中心、數(shù)控車床、數(shù)控銑床、數(shù)控鉆床、普通車床、普通鉆床、普通萬(wàn)通銑床、各類磨床如工具磨床、內(nèi)外圓磨床、平面磨床等，摩擦焊接機(jī)、線切割機(jī)、co2氣體保護(hù)焊機(jī)、剪板機(jī)、折彎?rùn)C(jī)等精密加工設(shè)備。

眾所周知，在嫦娥五號(hào)飛行試驗(yàn)器8天的太空之旅中，主要包含地月轉(zhuǎn)移變軌、月球近旁轉(zhuǎn)向、環(huán)月軌道保持、月地轉(zhuǎn)移變軌和以接近第二宇宙速度（11.2公里/秒）再入返回地球等關(guān)鍵階段和環(huán)節(jié)，在此過(guò)程中，速度控制都是關(guān)鍵因素，而精準(zhǔn)測(cè)量各個(gè)階段速度變化（即加速度）正是加速度計(jì)的“看家”本領(lǐng)。該方法是將加速度計(jì)安裝在現(xiàn)場(chǎng)的“無(wú)振動(dòng)”物體上，并在此時(shí)測(cè)量“視覺(jué)振動(dòng)”水平。試驗(yàn)器每分每秒所發(fā)生的加速度變化，加速度計(jì)組件都了如指掌，從而使GNC系統(tǒng)能夠準(zhǔn)確量測(cè)飛行器的速度和位移，把握行蹤。據(jù)33所負(fù)責(zé)空間型號(hào)的總師介紹，加速度計(jì)的類型較多，根據(jù)其構(gòu)造形式可分為機(jī)械的和固態(tài)的，石英撓性加速度計(jì)屬于機(jī)械敏感器——力反饋擺式加速度計(jì)，其具有緊湊、可靠、精度高和動(dòng)態(tài)范圍寬等特點(diǎn)。三十余年來(lái)，33所自主研制生產(chǎn)的該型加速度計(jì)已在眾多產(chǎn)品型號(hào)產(chǎn)品上得到了廣泛應(yīng)用。該型加速度計(jì)同時(shí)是助力神舟系列飛船飛行任務(wù)十戰(zhàn)十捷、飛船與天宮一號(hào)對(duì)接、嫦娥三號(hào)精準(zhǔn)落月的功勛產(chǎn)品。而且，相比嫦娥三號(hào)使用的三軸加速度計(jì)，嫦娥五號(hào)飛行試驗(yàn)器“敏感精靈”加速度計(jì)測(cè)量精度提升了兩成，溫度工作范圍提高了一倍。

加速度傳感器有很多種，加速度傳感器的原理：通過(guò)這個(gè)加速度傳感器，可以測(cè)量手機(jī)或者是手環(huán)在三個(gè)不同方向上的加速度。通過(guò)對(duì)加速度的值進(jìn)行計(jì)算，就可以大概測(cè)出走路的步數(shù)。表頭由整體石英撓性擺組件、差動(dòng)電容傳感器、力矩器、殼體等部分組成，系統(tǒng)組成。加速度傳感器還可以應(yīng)用在橋梁的健康監(jiān)測(cè)中、汽車領(lǐng)域和硬盤抗沖擊防護(hù)實(shí)驗(yàn)中。以汽車為例，它可以應(yīng)用在汽車碰撞試驗(yàn)、汽車安全氣囊（Airbag）、ABS防抱死剎車系統(tǒng)、電子穩(wěn)定程序（ESP）、電控懸掛系統(tǒng)等。石英撓性加速度計(jì)結(jié)構(gòu) 軛鐵由溫度系數(shù)低，導(dǎo)磁性能好的軟磁材料組成。磁鋼采用導(dǎo)磁性能比較良好的AL-Ni-Co8永磁材料，用無(wú)心磨床加工。石英撓性加速度計(jì)加速度引起的差動(dòng)電容變化量C，由伺服電路中差動(dòng)電容檢測(cè)器檢測(cè)，其輸出為電流，此電流經(jīng)電流積分器變成輸出電壓，然后跨導(dǎo)補(bǔ)償放大器把電壓變成輸出電流，該輸出電流的大小與輸入加速度成正比。