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發(fā)布時(shí)間:2020-11-12 16:09  







PVD基本方法:真空蒸發(fā)、濺射、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍),以下介紹幾種常用的方法。電子束蒸發(fā)電子束蒸發(fā)是利用聚焦成束的電子束來(lái)加熱蒸發(fā)源,使其蒸發(fā)并沉積在基片表面而形成薄膜。特征:真空環(huán)境;蒸發(fā)源材料需加熱熔化;基底材料也在較高溫度中;用磁場(chǎng)控制蒸發(fā)的氣體,從而控制生成鍍膜的厚度。濺射沉積濺射是與氣體輝光放電相聯(lián)系的一種薄膜沉積技術(shù)。濺射的方法很多,有直流濺射、RF濺射和反應(yīng)濺射等



目前,功能性PVD涂層主要應(yīng)用在各種切削刀具(如車(chē)刀、銑刀、鉆頭、鋸片)、發(fā)動(dòng)機(jī)零部件、gu科yi療器械、一般零部件等產(chǎn)品中。②裝飾性PVD涂層:主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤,同時(shí)使工件更加耐磨、耐腐蝕,并延長(zhǎng)其使用壽命。例如不銹鋼門(mén)把手上的鋯基涂層,這種黃銅色涂層的耐磨性和耐腐蝕性比真正的黃銅更高。目前,裝飾性PVD涂層主要應(yīng)用于五金行業(yè)的各領(lǐng)域,如門(mén)窗五金、鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。



具有摩擦系數(shù)較低,耐磨損,膜層應(yīng)力小好等優(yōu)點(diǎn)。用途:潤(rùn)滑涂層,成型模具,鋁合金等粘結(jié)性強(qiáng)材料沖壓模具。⑥ZrN:ZrN不含Ti和Cr的單成膜,有較高的耐熱性,涂層顏色艷麗,在加工鋁鈦合金時(shí)可有效減少切削瘤(積屑瘤)。⑦AL(L):zui新劈裂電弧涂層,含Si納米復(fù)合涂層,極高抗熱性能,適合硬切削,納米硬度4300Hv,納米厚度1~3μm。摩擦系數(shù)0.3。zui高應(yīng)用溫1200℃。加工硬度可達(dá)65HRC。用途:特適合加工淬火、鋼淬火硬鋼、不銹鋼、沉淀硬化不銹鋼。⑧MDT:zui新劈裂電弧涂層,納米厚度1-3μm,加工硬度可達(dá)58HRC。用途:特適合加工不銹鋼、鈦合金、沉淀硬化不銹鋼、銅合金、鋁合金。


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