半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

墻板及吊頂:本工程隔墻采用企口型機制

墻板及吊頂：本工程隔墻采用企口型機制玻鎂巖棉夾芯板0.426，玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠房二級消防要求，玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等級達到高等級。巖棉密度：≥1000kg/m3；導(dǎo)熱系數(shù)：≤0.046w/m.k；燃燒性能：高等級（不燃）。耐火極限為30~120分鐘。廣泛應(yīng)用于食品、電子、、飲料、生物研究等行業(yè)。水管：空調(diào)水管采用無縫鋼管。水泵采用星-三角啟動。

凈化空調(diào)廠房入口處設(shè)置

無塵車間的設(shè)計要求：基本要求：凈化空調(diào)廠房布置緊湊，設(shè)計合理，可滿足操作及空氣潔凈度要求，在設(shè)計建設(shè)中力求科學(xué)性、經(jīng)濟性，嗨喲啊考慮潔凈室未來發(fā)展，同時控制潔凈室的運行費用。凈化空調(diào)廠房入口處設(shè)置風(fēng)淋室：入口處必須設(shè)置風(fēng)淋室，這樣能清楚人體攜帶的灰塵，進而減少潔凈室灰塵含量，而風(fēng)淋室也可以起到防塵作用，防止污染源由門而入。殺菌裝置：在凈化空調(diào)廠房中必須設(shè)置紫光燈，以室內(nèi)的各種有害細菌，進而保證潔凈室內(nèi)相對潔凈。

電子萬級潔凈室廠房特點

電子萬級潔凈室廠房特點：潔凈度等級要求高，風(fēng)量、溫濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控，照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤為嚴格。如果廠房過于干燥則易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。

一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時可有效地消除靜電，并使人感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等做出了嚴格的規(guī)定。