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半導(dǎo)體車間凈化工程的裝修注意事項有哪些?想必很多人不是很了解吧,那么接下來就為大家做一個詳細的介紹吧。我們聊了解一下吧,希望可以幫助到大家。
凈化車間的裝修過程中,應(yīng)有安全保證的應(yīng)急救援預(yù)案,所有施工人員應(yīng)有安全培訓(xùn),并在重要位置做好安全標識,加強施工現(xiàn)場的防火工作,嚴格執(zhí)行防火安全規(guī)定,責(zé)任到人,杜絕現(xiàn)場動用非生產(chǎn)性明火。
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半導(dǎo)體車間凈化工程的檢測點應(yīng)該怎么布局的嗎?相信很多人都不知道吧,那么接下來就為大家做一個詳細的介紹吧。我們來看一下吧。
檢測點的布置 根據(jù)中華人民共和國國家標準GBJ73-84《凈化廠房設(shè)計規(guī)范》的規(guī)定:
在對凈化車間進行凈化度檢測時,檢測點應(yīng)為距室內(nèi)地坪1.00m的水平面內(nèi);對于單向流型凈化車間測點總數(shù)應(yīng)不小于20點,測點間距為0.5-2.0m。
水平單向流測點僅布置在1凈化車間工作區(qū)內(nèi);非單向流凈化車間按凈化車間面積小于或等于50m2布置5個測點。
使用光散射粒子計數(shù)器的取樣量 關(guān)于塵埃粒子計數(shù)器檢測時的空氣取樣量,在國標GBJ73-84中規(guī)定:對于100級的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于1L,對于1000~10000級的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L,對于10000級的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L?!?/span>
對于100級凈化車間,宜采用大流量粒子計數(shù)器進行測試。如果不具備,也應(yīng)采用每次采樣量不小于1L的粒子計數(shù)器。
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大家知道應(yīng)該怎么進行半導(dǎo)體車間凈化工程裝修嗎?相信很多人都不知道吧,下面隨著我一起來了解一下吧,希望下面的信息可以給你帶來幫助!
1、塑料板材和卷材面層鋪貼前應(yīng)預(yù)先按規(guī)格大小,厚薄分類,板材或卷材與地面之間應(yīng)滿涂粘接劑,表面趕平,不得漏涂或殘存空氣?! ?/span>
2、密封膠嵌固前,應(yīng)將基槽內(nèi)的雜質(zhì),油污剔除干凈,并保持表面干燥?! ?/span>
由于此種粒子計數(shù)器在使用中可以對室內(nèi)空氣的含塵量進行自動、連續(xù)、及時地對應(yīng)測量,并且可以直接顯示瞬時的含塵濃度,也可以對不同粒徑的含塵濃度進行測量,使用簡單、方便、及時、靈活。
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