真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù)

（1）氦氣充注及回收設(shè)計(jì)：首先、務(wù)必保證安全問(wèn)題，因?yàn)樯婕暗礁邏簹怏w因此儲(chǔ)氣罐務(wù)必設(shè)置安全閥及壓力適時(shí)檢測(cè)裝置，保證壓力容器安全。第二、壓力管道務(wù)必密封良好，防止充氣及回收過(guò)程中空氣混入到系統(tǒng)中，造成氦氣純度下降。第三、需要有氦氣濃度檢測(cè)裝置，保證在氦氣壓力及純度達(dá)不到要求時(shí)，補(bǔ)充新鮮的氦氣。第四、具備慮油裝置，防止氦氣增壓泵以及真空泵中的油蒸汽進(jìn)入氣罐，污染系統(tǒng)。

（2）抽空系統(tǒng)設(shè)計(jì)：抽空系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)本著適度、夠用、滿足需求原則。系統(tǒng)冗余過(guò)大，會(huì)導(dǎo)致制造成本偏高，也不離于節(jié)能環(huán)保。

背壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率，需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。

背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。

背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外，每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率，在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能。

背壓法的檢漏主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏

真空設(shè)備制造過(guò)程中的檢漏

在設(shè)備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時(shí)地對(duì)半成品零部件進(jìn)行檢漏。對(duì)于制造完畢后無(wú)法接觸、檢漏或修補(bǔ)的部件，焊縫質(zhì)量要嚴(yán)格檢漏，不合格的及時(shí)重焊、補(bǔ)焊并重新檢漏，符合要求后才可以進(jìn)行下一道工序。特別是對(duì)于大容器的組焊、加工，中間過(guò)程的檢漏十分關(guān)鍵，必要時(shí)應(yīng)該設(shè)計(jì)、制造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對(duì)于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，好首先組焊完內(nèi)層室壁并檢漏，確認(rèn)沒(méi)有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對(duì)于室壁外側(cè)有保溫層等不易拆卸結(jié)構(gòu)的情況，必須首先對(duì)室壁做嚴(yán)格檢漏，然后才能包覆外層結(jié)構(gòu)。

在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應(yīng)采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經(jīng)焊后加工的法蘭，即便在安裝調(diào)試階段可能滿足了密封要求，但在設(shè)備使用過(guò)程中，受熱、振動(dòng)等因素也可能誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放，從而導(dǎo)致法蘭變形和密封性能下降。

加工制造過(guò)程中，嚴(yán)格執(zhí)行真空作業(yè)衛(wèi)生和作業(yè)規(guī)范，對(duì)于提高真空設(shè)備和系統(tǒng)的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型后，需經(jīng)去油清洗并及時(shí)保護(hù)將有利于提高焊縫的氣密性。已經(jīng)加工完成的零部件動(dòng)、靜密封面，應(yīng)該具有保護(hù)措施，嚴(yán)防在存放、搬運(yùn)、裝配過(guò)程中發(fā)生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時(shí)，更應(yīng)精心作業(yè)，尤其避免已經(jīng)通過(guò)預(yù)檢漏后被損壞而產(chǎn)生漏孔。