經(jīng)過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

 集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

（1）便攜式：現(xiàn)在各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

氦質譜檢漏儀性能試驗方法

靈敏度及其校準

氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的小漏孔漏率。所謂“佳工作條件”是指儀器參數(shù)調整到佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的大波動量。

如果檢漏時用輔助系統(tǒng)抽氣(即對示漏氦氣有分流)?；蛴美鄯e法檢漏時，給出儀器小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。

濃度靈敏度校準系統(tǒng)中應用量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。

氦質譜檢漏儀，氣密性檢測儀的選擇

氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。

小可檢漏率: 5×10-12Pa·m3/s

漏率顯圍: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s

啟動時間: ≤5min

響應時間: <2S

檢漏口高壓力: 300Pa

極限真空: 5×10-4Pa

外形尺寸: 560(W)×420(D)×300(H)

重量:46KG