雙工位氦檢漏系統(tǒng)構(gòu)成

（1）粗抽機(jī)組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個大氣壓到千帕級真空，并為后續(xù)精抽真空作準(zhǔn)備。

（2）精抽機(jī)組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號。

（4）耐壓測試單元：通過向工件內(nèi)充注高壓氣體，一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程，有傳感器感測壓力差，并由控制系統(tǒng)經(jīng)過計(jì)算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內(nèi)的空氣。

采用真空壓力法檢漏時，需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進(jìn)入真空密封室，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜，需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏，或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。

真空壓力法的檢測主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等

汽機(jī)真空系統(tǒng)檢漏方法

氦質(zhì)譜檢漏檢漏：鏈接氦質(zhì)譜儀器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿著氦氣噴，噴遍所有的可以漏點(diǎn)，同時保持和分析儀器端點(diǎn)的人員聯(lián)系，如果端點(diǎn)接收到氦氣，說明噴附近有漏點(diǎn)，再反復(fù)查找，爭取確定吸空的泄漏點(diǎn)。缺點(diǎn)是，由于氦氣易揮發(fā)，特別是迅速上漂到一大片面積。難以定為漏點(diǎn)。對于死角難以攀登噴氣。類似的方法還有鹵素法等。

氦質(zhì)譜檢漏，不適用于空冷島檢漏。空冷島的露天傾斜結(jié)構(gòu)，使得氦氣瞬間揮發(fā)掉，特別是遇到有風(fēng)的天氣。